项目名称:深硅刻蚀机招标人:淮海工业集团有限公司
招标编号:****-************
本项目第*章招标公告*.*设备技术要求*)“硅-玻璃键合片静电吸附良好,氨气压力******时,氨气流量≤*****”
变更为:“硅-玻璃键合片静电吸附良好,氦气压力******时,氦气流量≤*****”。
本项目第*章货物需求*览表及技术规格*、主要技术参数:**) “硅-玻璃键合片静电吸附良好,氨气压力******时,氨气流量≤*****”
变更为:**) “硅-玻璃键合片静电吸附良好,氦气压力******时,氦气流量≤*****”。
特此公告
中科信工程咨询(北京)有限责任公司
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