序号

规格及系统参数

标准配置*：显微镜

显微镜标准配置：

* *个物镜安装位，分别安装*,**,**,**,***倍半复消色差物镜，其中***倍物镜为*******品牌

*白色***照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗** ***，色温*****，照明均匀；***照明控制器***-****宽电压,** ***控制器，可调光；

* 显微相机：****万像素高灵敏度****传感器，曝光时间****~*****，自动白平衡；提供显微相机操作软件；工作温度-**~ **摄氏度。

*显微*轴可调支架，*轴可以粗微调调节，调节范围****，精度***；**轴行程****；

* *色可调颜色滤光片，可以使用不同颜色光照明获得对比度更高的图片

* 光功率计：***-******波段光功率计，探测范围***-****，厚度仅***，通过软件读取数据

* 遮光罩壳，样品区域完全遮光设计，避免杂散光对测量的干扰

* 研华工控机，***内存，**处理器，**硬盘，*个**寸显示器；

标准配置*：*****拉曼测试单元

*****拉曼测试单元

* ***** 窄线宽激光器

激光功率：****

模式质量**：小于*.*

功率稳定性：小于*%

光束发散：小于*****

* 拉曼/荧光测试用滤光片组，拉曼测试范围**-****波数，荧光测试范围***-******；

* *****激光光路

拉杆式激光切换器，使用拉杆控制激光进入光路

拉杆式***衰减片，用于切换观察和测量模式

*个自由度调节光路，准确控制激光正入射聚焦于视场中心

*孔衰减滤光片轮，包含***.*-* 共*片衰减片

拉曼光谱仪

* 制冷型背照式光谱仪，****像素，测量范围**-****波数，分辨率*波数，积分时间****-***，最高量子效率**%

* 光谱仪自由空间耦合光路，采用无色差光路设计，使用多轴调整架将信号光准确聚焦于光谱仪狭缝；

荧光光谱仪

* 制冷型背照式光谱仪，****像素，测量范围***-******，分辨率***，积分时间****-***，最高量子效率**%

* 光谱仪自由空间耦合光路，采用无色差光路设计，使用多轴调整架将信号光准确聚焦于光谱仪狭缝；

标准配置*：压电扫描台

压电扫描台

扫描范围：***微米

定位分辨率：****

空载响应时间：****

扫描速度：最高每秒***条光谱（取决于样品信号强度）

扫描光学分辨率：*****（***倍物镜）

同步采集信号：电压信号，计数器信号

扫描点数：最大*******点

光电测试模块

光电测试皮安表

* 吉时利************皮安表，双通道输出，用于提供器件测试中的电压源，并且测量直流电流，电压输出范围：±***，电流测量范围：±**** ，电流测量分辨率***

* ***专用测试底座；

标准配置*：

光谱测试及扫描软件

******** 光谱测试软件

* 光谱测试软件，控制光谱仪读取拉曼，荧光，自动扫描偏振方向并测量光谱；

* 光谱扫描控制软件，包含光谱扫描区域选择，扫描控制功能，自动同步扫描台运动与光谱仪采集；自动计算每*点峰值，峰位置，峰宽度，峰面积并且生成扫描图像

* 光电流扫描功能，包含扫描区域选择，自动同步扫描台与光电流测试设备，自动计算每*点光电流，暗电流