投资总额为49000万元的福建省晋华集成电路有限公司X射线分析仪与离子植入机应用项目-比比招标网

*、建设内容产品参数检测使用分析仪，离子植入工序使用离子注入机。 *、建设规模 *、使用*-*** 型全反射*射线荧光分析仪（最大管电压****，最大管电流****，数量* 台）； *、使用*** *** 型全反射*射分析仪（最大管电压****，最大管电流****，数量* 台）； *、使用*** ** 型光学表面量测仪（最大管电压****，最大管电流***，数量* 台）； *、使用************-****+中电流离子注（植）入装置（最大管电压****，最大管电流***，数量* 台）； *、使用***-**/**型中电流离子注入机（功率*****，数量*台）； *、使用****** 型中电流离子注入机（功率*****，数量*台）； *、使用****** **型高能量离子植入机（功率******，数量* 台）； *、使用******* **型高能量离子植入机（功率*****，数量**台）；射线装置具体使用位置：使用地点位于***-** ***区和***区。