*英寸碳化硅单晶衬底片产业化 | |||
河北省石家庄市鹿泉市鹿泉经济开发区昌盛大街**号 | *** | ||
河北普兴电子科技股份有限公司 | 史顺平 | ||
高亚林 | * | ||
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改建 | |||
在碳化硅晶体生长过程中,碳化硅粉料需要加热分解,气相组分****、****、**等通过气相传输到籽晶表面沉积,形成碳化硅晶体,过程中涉及到复杂的物理化学过程,其质量受到多因素的影响影响,很容易出现缺陷,主要有:多型夹杂、微管缺陷、位错缺陷、异型包裹等是实现大面积高功率器件的主要障碍,尤其是微管,对器件性能影响特别大,只要有微管存在,管芯就会失效。在项目实施过程中利用已有技术基础,进行优化提升,实现高质量*英寸碳化硅单晶衬底片的产业化生产能力. | |||
生产废水 有环保措施: 产生量*.*立方米/天采取絮凝沉淀池措施后通过开发区市政污水管网排放至石家庄污水处理有限公司西北污水处理厂 |
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环保措施: 本项目生产过程产生废坩埚、锅底料和边角料约**/*,属于*般工业固体废物,临时贮存在*般固废仓库中,最终交有资质单位进行处置。 |
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有环保措施: 针对各噪声源特点分别采取加装减震基础或设置隔声罩等降噪措施。 |
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