投资总额为14000万元的功率薄层硅外延片产业化项目-比比招标网

项目名称	功率薄层硅外延片产业化
建设地点	河北省石家庄市鹿泉市鹿泉经济开发区昌盛大街**号	建筑面积（平方米）	****
建设单位	河北普兴电子科技股份有限公司	法定代表人	史顺平
联系人	高亚林		*
项目投资(万元)	*****	环保投资(万元)	***

建设性质	扩建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第** 电子器件制造项中其他。
建设内容及规模	本项目利用已有厂房进行改造，新建***㎡厂房并采购硅外延炉以及相关配套的检测仪器设备，结合已有的部分设备仪器进行功率薄层硅外延片的加工生产。项目完成时，将形成条功率薄层硅外延片的生产线，实现功率薄层硅外延片的产业化生产能力。本项目生产方法采用气相外延法，硅源采用****，设备使用国际先进水平的硅外延设备。硅抛光片放在碳化硅包覆的石墨基座上，通过红外光加热或电磁感应加热来提供化学过程进行所需的高温（** 度以上），通入硅源氢气混合气，在硅单晶片上生长*层或多层与硅晶格匹配、结晶完美的硅单晶薄膜。通过调整光照或磁通量来调整温场，通过调整进入反应腔室的气流场分布、流速，掺杂杂质的多少来调整外延的厚度分布和电阻率。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向
	有环保措施: 该项目外延工序石墨基座清理、抛光片前抛光使用*，外延生长工序反应生成，外延工序排放的*采取外延炉自带的“水浴+水喷淋”级尾气处理器措施后通过**米高排气筒排放至高空
	生活污水有环保措施: 生活污水采取化粪池处理措施后通过开发区市政污水管网排放至石家庄污水处理有限公司西北污水处理厂生产废水有环保措施: 外延片、石英件水洗产生酸性废水采取经“*级中和+介质过滤 ”工艺污水处理站处理措施后通过开发区市政污水管网排放至石家庄污水处理有限公司西北污水处理厂
	环保措施: 生产过程中产生定量的废片，属般固废，集中收集，外售处理。本项目职工产生生活垃圾在厂内设定点集中收集箱，在厂内集中收集后由当地环卫部门定期运出填埋处置。
	有环保措施: 针对各噪声源特点分别采取加装减振基础、设置隔声罩等降噪措施。



承诺：河北普兴电子科技股份有限公司史顺平承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的*切后果由河北普兴电子科技股份有限公司，史顺平承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：******************。