投资总额为17127.95万元的单片槽式组合清洗机研发与产业化项目-比比招标网

项目名称	单片槽式组合清洗机研发与产业化
建设地点	上海市直辖市浦东新区川宏路**号幢	建筑面积（平方米）	****
建设单位	盛美半导体设备（上海）有限公司	法定代表人	* **
联系人	王新征
项目投资(万元)	***.	环保投资(万元)	.

建设性质	扩建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第** 专用设备制造及维修项中仅组装的。
建设内容及规模	针对**及以下节点下，湿法去胶工艺过程中的高温（硫酸与双氧水的混合液）带来的硫酸排放的环境问题，开发环境友好的单片槽式组合清洗机，结合单片和槽式清洗的优点，减少高温硫酸排放量，降低企业成本。该项目属于该类型产品全球首发，填补该类型产品产业空白，缓解了客户尤其是上海的集成电路生产线的产能扩充的环境污染难题。主要建设内容：单片清洗模块、槽式清洗模块、硅片内部传输模块、硅片装载前端模块等其他工厂标准配置，工艺开发和软件调度测试。规模：达产后产能每年台。工艺流程：本项目仅在本公司进行组装，所有部件均采用外协加工；工艺测试中不涉及高温硫酸，高温硫酸测试环节安排在客户端（集成电路芯片厂）进行。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向

	生活污水无环保措施: 生活污水直接通过污水管道排放至市政污水管网
	环保措施: 生活垃圾由环卫部门处理，*般工业固废委托资源回收单位处理，无危险废物产生。




承诺：盛美半导体设备（上海）有限公司 * *承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的切后果由盛美半导体设备（上海）有限公司， * ** 承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：******************。