投资总额为4000万元的8英寸P型硅外延片产业化项目-比比招标网

项目名称	英寸型硅外延片产业化
建设地点	河北省石家庄市鹿泉市鹿泉经济开发区晶盛大街**号	建筑面积（平方米）	***
建设单位	河北普兴电子科技股份有限公司	法定代表人	史顺平
联系人	高亚林
项目投资(万元)	****	环保投资(万元)	***

建设性质	扩建
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第** 电子器件制造项中其他。
建设内容及规模	建设规模：本项目投资***万元，购买主要生产设备硅外延炉台及配套测试仪器进行英寸型硅外延片产业化，实现年产*万片英寸型硅外延片的生产能力。建设内容：本项目利用已有厂房进行改造，采购硅外延炉以及相关配套的检测仪器设备，结合已有的部分设备仪器进行英寸型硅外延片的加工生产。项目完成时，将形成条英寸型硅外延片的生产线。工艺流程:本项目生产方法采用气相外延法，外延过程中石墨板被石英管周围的射频线圈加热到**-度，在高温下发生了**+→+↑的反应，释放出的原子在基片表面形成单晶硅，典型的生长速度为.~.μ/***。通过拓宽生长温区，减少片内的温度梯度；设计合适的工艺条件，减少片内厚度的不均匀；通过原位背封或硅片背封等技术控制背面状态，防止由背面不平整引起的整体厚度变化；并且根据厚度选择合适的边缘抛光与倒角来使平整度的控制达到国内领先水平。
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向
	有环保措施: 该项目外延工序石墨基座清理、抛光片前抛光使用*，外延生长工序反应生成，外延工序排放的*采取外延炉自带的“水浴+水喷淋”级尾气处理器措施后通过**米高排气筒排放至高空
	生活污水有环保措施: 生活污水采取化粪池处理措施后通过园区及开发区市政污水管网排放至石家庄污水处理有限公司西北污水处理厂生产废水有环保措施: 外延片、石英件水洗产生酸性废水采取经“*级中和+介质过滤 ”工艺污水处理站处理措施后通过园区及开发区市政污水管网排放至石家庄污水处理有限公司西北污水处理厂
	环保措施: 生产过程中产生定量的废片，属般固废，集中收集，外售处理。项目职工产生生活垃圾在厂内设定点集中收集箱，在厂内集中收集后由当地环卫部门定期运出填埋处置。
	有环保措施: 针对各噪声源特点分别采取加装减振基础、设置隔声罩等降噪措施。



承诺：河北普兴电子科技股份有限公司史顺平承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的*切后果由河北普兴电子科技股份有限公司，史顺平承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：******************。