真空压力表滚珠丝杆副-*轴开关电源电磁阀光电传感器(凹槽式-导线引出型)通信模块真空过滤器***模块**-*****碱抛计数电眼电磁阀底座模组电缆数字量输出模块***模块激光舌头模组气缸模块安川驱动器(含配套件)步进驱动器***模块电磁阀电磁阀座低压扩散聚*氟卡套直通接头无杆气缸**冷水机丝杆固定座低压扩散聚*氟卡套变径直通接头减速机(*:**)丝杆模组载篮升降模组伺服电机***模块驱动器丝杆支撑座手指气缸伺服线缆磁性接近传感器开关电源传感器直线导轨-装卡点*轴伺服电机(****)总线模块阀座同步轮同步带压板*相滤波器可控硅滚珠丝杆副-*轴对射光电传感器同步轮拖链*