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投标截止时间:****/*/** *:**:**
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招标文件入围供应商:*家
招标产品
产品名称 | 采购量 | 产品描述 | 产品文件 | 图片 |
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等离子体增强化学气相沉积设备 | *批 |
供应商要求
商务条款
详细说明
*、招标条件序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
包* | 自动曝光机 | * | 单台月产能大于*****片,计算方法:***********.**(系数) (含套刻产能:*秒曝光时间,及基片厚度补偿时间) | |
包* | 匀胶机 | * | 产能:单台月产能≥*****片 单台月产能计算公式:***(*小时产量)***(小时)***(天)**.**(系数) ≥*****片 | |
包* | 显影机 | ** | 显影***单元≥*组 | |
包*品目* | 去胶清洗机 | ** | 制程槽:***(循环)**、***(循环)**、*** | |
包*品目* | 去蜡清洗设备 | * | 去蜡清洗设备必须手动自动可切换操作 | |
包*品目* | ***清洗机(*槽) | * | 制程槽:***(循环)**、***** | |
包*品目* | ***清洗机(*槽) | * | 制程槽:***(循环)**、***** | |
包*品目* | 酸类清洗机(*槽***+*槽***) | * | 制程槽:*****(循环)、*****(循环)、***** | |
包*品目* | 酸类清洗机(*槽***) | * | 制程槽:***(循环)**,***** | |
包*品目* | 酸类清洗机(*槽***+*槽***) | * | 制程槽:*****(循环)、*****(循环)、******,***** | |
包*品目* | 酸类清洗机(*槽***+*槽***洗版) | * | 制程槽: ***(循环)**,****** | |
包*品目* | 酸类清洗机(*槽***+*槽***洗版) | * | 制程槽: ***(循环)**,****** | |
包*品目* | 去蜡清洗设备 | * | 管路系统配置于设备后下方之管路区 | |
包* | 直立式旋干机 | ** | 机台马达需采用无碳刷直流马达 | |
包* | 直立式旋干机 | ** | 机台马达需采用无碳刷直流马达 | |
包* | 自动干法刻蚀机(***) | ** | 单台两套***工艺腔室 | |
包* | 溅射镀膜系统 | * | 靶材与衬底之间有挡板保护(工艺步骤前挡板开启保护,保证低离子损伤)。 | |
包** | 快速退火炉 | * | 芯片承载盘(***) :***材料可放置*吋晶片*片(含)及以上 | |
包** | 电子束蒸镀系统 | ** | 蒸发源坩埚材质:钨(******),蒸镀过程相邻坩埚不会互相污染。 | |
包** | 合金炉 | * | 可加工管数 :*个以上(含*个) | |
包** | 等离子体增强化学气相沉积设备(*****) | ** | 气体流量计包括但不限于****, ***, **, ***, ***, **气体。 | |
包** | 蒸镀***反射膜工艺(***) | * | 射频中和器:最大射频功率:****(**.*****)最大中和電流:****** | |
包** | 等离子去胶机(*****) | ** | 生产治具: *用*备 | |
包** | 膜厚测试仪 | * | 测量厚度:***~**** | |
包** | 金相显微镜 | * | 最大可放置样品高度:****,实现更大高度样品观察; | |
包** | 全自动目检机***(***) | * | 可用于*英寸晶片尺寸使用,同时兼容*寸 | |
包** | 金属溅射镀膜系统 | * | 具有单独**,单独**电源 | |
包** | 椭偏仪 | * | 微光斑(**°入射角):最小尺寸≤***** * *****。 | |
包**品目* | 高温老化系统(*****/**/***) | * | 配*** ***专用测试排线(含耐高温连接器,最高耐温不小于***度) | |
包**品目* | 常温老化系统(*****/**/***) | * | 配*** ***专用测试排线(含耐高温连接器,最高耐温不小于***度) | |
包**品目* | 高压老化电流源(*****/**/***) | * | 试验数据可以保存于** 机中,便于调用,可输出试验报表,绘制数据变化 曲线。 | |
包** | 自动推力机 | * | 用途:适用于*寸片、*寸片及*寸片推力及拉力作业,以验证电极结合度状况 | |
包**品目* | 吸附式氮气纯化器 | * | 纯化对象及纯化后纯度:氮气/**.*******% | |
包**品目* | 吸附式氢气纯化器 | * | 纯化对象及纯化后纯度:氢气/**.*******% | |
包**品目* | 吸附式氨气纯化器 | * | 纯化对象及纯度:***/**.*******% |