序号

指标项

重要性

指标要求

关键指标理由

*

电子光学系统

重要

*.*电子枪类型：场发射电子枪；

★*.*分辨率：≤*.***@***(**)，**≥*.***；

*.*放大倍率范围：**-*,***,***倍或者更宽；

*.*加速电压/着*电压：*.****-****或者更宽，步进***，加速电压连续可调；

*.* 电子束流：最大束流不小于****

*.*配备样品台减速模式；

*.*样品通用性好，可对磁性材料进行高分辨成像，低电压下可直接对易损伤的不导电样品进行高分辨成像；

#*.*物镜光阑：物镜光阑孔数量≥*，光阑具有自加热清洁功能；

*.* 信号增强功能：电子光学系统内具有双向电磁效应，以增强信号接收功能；

*.**电子枪可以实现随时关闭，不需要**小时持续通电保持；

关键参数

*

探测器

重要

*.*信号检测系统：具备独立接收*次电子、背散射电子信息功能，同时也能够实现任意比例的*次电子信息和背散射信息混合功能，也可以混合不同探头信息；

*.*配置样品室内置式导航相机，方便导航观察位置；

*.*配置扫描透射探测器（****）；

关键参数

*

样品室

重要

★*.*样品交换仓：不小于*****直径的样品交换仓；

#*.*具有非接触防碰撞功能；

*.*配备高精度*轴优中心全自动马达样品台，移动范围不小于：*：*-*****，*：*-*****，*：*.*-****，*：***°（旋转）；样品台双向倾斜，倾斜范围不小于-*°至 +**°；

*.*配置马达台快捷控制器或轨迹球，多功能旋钮操作控制面板；

*.*预留能谱仪等常用接口和软件通讯接口；

关键参数

*

真空系统

重要

*.*样品室真空达**^-* **量级，电子枪真空达**^-* **量级，样品室日常抽到**^-***所需时间小于***；

#*.*真空系统，具备机械泵、分子泵、离子泵、化学吸收泵*级真空系统；

*.*全自动真空系统，完全气动阀自动控制。

关键参数

*

图像软件功能

重要

#*.*单张图片最大存储分辨率不小于*****×*****像素；

*.* 图像记录格式：****、***或****；

*.* 具有漂移校正软件和中心点功能；

*.* 所有扫描速度下均可进行像素平均，获得高质量图片；配有高级测量软件，倾斜校正；具有不少于**种扫描方式；

*.*齐全的软件功能，包括电镜操作、图像处理、测量、编辑等；

*.* 自动调整功能：具有自动对焦，自动调像散，自动合轴，自动漂移校正，兼有手动调整功能；

*.*配套计算机：*核处理器及以上***，固态硬盘，工作站**， ** 显存，**寸液晶显示器**，******* 操作系统，安装最高版本的全套控制和数据处理应用软件；

关键参数

*

能谱仪

重要

★*.*探测器：分析型***硅漂移电制冷探测器，有效面积*****^*，高分子超薄窗。

*.*封闭式真空系统，无需借助***抽放真空。

*.*重元素能量分辨率：** **保证优于*****（@计数率***,******）；保证符合*** *****:****标准。

*.*轻元素能量分辨率：* ** 保证优于****（@计数率***,******）；能量分辨率: * ** 保证优于****（@计数率***,******）；保证符合*** *****:****标准。

*.*元素分析范围: ***～****。

*.*探测器可软件控制，自动伸缩。

*.*具备元素******** ****实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图********的动态变化过程。

*.*在谱图实时采集时，动态显示********的定量分析结果，以含量、原子比或氧化物百分比呈现。

*.*具备元素面分布****实时刷新显示功能功能，可实时观测样品区域变化或者形态转变时，*******的动态变化过程。具备*峰修正功能, 开机后无需重新修正峰位。

*.**具有实时谱图比对功能。

#*.**线扫描分析每条线可包含高达****点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。

*.**定量分析：采用***定量修正技术。

*.**具有完备的***和****两个无标定量数据库。

*.**采用**脉冲与图像处理器，具备多探头控制能力，最多可同时控制和处理*个能谱检测器。

*

及配套设备

重要

★*.*配置不少于**年的灯丝耗材寿命，包含更换时的人工费（参考冷场≥*套，热场≥*套）；

*.*标准样品台，特殊样品台*套；

*.*机械泵、冷却循环水装置、空压机*套

*.*低噪音***（*小时续航能力）；

*.*碳导电胶带*卷；

*.*其他保证仪器长期正常运行和常规保养所需的全套标准、专用工具和消耗品；

关键参数

序号

指标项

重要性

指标要求

关键指标理由

*

电子光学系统

重要

*.*电子枪类型：场发射电子枪；

★*.*分辨率：≤*.***@***(**)，**≥*.***；

*.*放大倍率范围：**-*,***,***倍或者更宽；

*.*加速电压/着*电压：*.****-****或者更宽，步进***，加速电压连续可调；

*.* 电子束流：最大束流不小于****

*.*配备样品台减速模式；

*.*样品通用性好，可对磁性材料进行高分辨成像，低电压下可直接对易损伤的不导电样品进行高分辨成像；

#*.*物镜光阑：物镜光阑孔数量≥*，光阑具有自加热清洁功能；

*.* 信号增强功能：电子光学系统内具有双向电磁效应，以增强信号接收功能；

*.**电子枪可以实现随时关闭，不需要**小时持续通电保持；

关键参数

*

探测器

重要

*.*信号检测系统：具备独立接收*次电子、背散射电子信息功能，同时也能够实现任意比例的*次电子信息和背散射信息混合功能，也可以混合不同探头信息；

*.*配置样品室内置式导航相机，方便导航观察位置；

*.*配置扫描透射探测器（****）；

关键参数

*

样品室

重要

★*.*样品交换仓：不小于*****直径的样品交换仓；

#*.*具有非接触防碰撞功能；

*.*配备高精度*轴优中心全自动马达样品台，移动范围不小于：*：*-*****，*：*-*****，*：*.*-****，*：***°（旋转）；样品台双向倾斜，倾斜范围不小于-*°至 +**°；

*.*配置马达台快捷控制器或轨迹球，多功能旋钮操作控制面板；

*.*预留能谱仪等常用接口和软件通讯接口；

关键参数

*

真空系统

重要

*.*样品室真空达**^-* **量级，电子枪真空达**^-* **量级，样品室日常抽到**^-***所需时间小于***；

#*.*真空系统，具备机械泵、分子泵、离子泵、化学吸收泵*级真空系统；

*.*全自动真空系统，完全气动阀自动控制。

关键参数

*

图像软件功能

重要

#*.*单张图片最大存储分辨率不小于*****×*****像素；

*.* 图像记录格式：****、***或****；

*.* 具有漂移校正软件和中心点功能；

*.* 所有扫描速度下均可进行像素平均，获得高质量图片；配有高级测量软件，倾斜校正；具有不少于**种扫描方式；

*.*齐全的软件功能，包括电镜操作、图像处理、测量、编辑等；

*.* 自动调整功能：具有自动对焦，自动调像散，自动合轴，自动漂移校正，兼有手动调整功能；

*.*配套计算机：*核处理器及以上***，固态硬盘，工作站**， ** 显存，**寸液晶显示器**，******* 操作系统，安装最高版本的全套控制和数据处理应用软件；

关键参数

*

能谱仪

重要

★*.*探测器：分析型***硅漂移电制冷探测器，有效面积*****^*，高分子超薄窗。

*.*封闭式真空系统，无需借助***抽放真空。

*.*重元素能量分辨率：** **保证优于*****（@计数率***,******）；保证符合*** *****:****标准。

*.*轻元素能量分辨率：* ** 保证优于****（@计数率***,******）；能量分辨率: * ** 保证优于****（@计数率***,******）；保证符合*** *****:****标准。

*.*元素分析范围: ***～****。

*.*探测器可软件控制，自动伸缩。

*.*具备元素******** ****实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图********的动态变化过程。

*.*在谱图实时采集时，动态显示********的定量分析结果，以含量、原子比或氧化物百分比呈现。

*.*具备元素面分布****实时刷新显示功能功能，可实时观测样品区域变化或者形态转变时，*******的动态变化过程。具备*峰修正功能, 开机后无需重新修正峰位。

*.**具有实时谱图比对功能。

#*.**线扫描分析每条线可包含高达****点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。

*.**定量分析：采用***定量修正技术。

*.**具有完备的***和****两个无标定量数据库。

*.**采用**脉冲与图像处理器，具备多探头控制能力，最多可同时控制和处理*个能谱检测器。

*

及配套设备

重要

★*.*配置不少于**年的灯丝耗材寿命，包含更换时的人工费（参考冷场≥*套，热场≥*套）；

*.*标准样品台，特殊样品台*套；

*.*机械泵、冷却循环水装置、空压机*套

*.*低噪音***（*小时续航能力）；

*.*碳导电胶带*卷；

*.*其他保证仪器长期正常运行和常规保养所需的全套标准、专用工具和消耗品；

关键参数

序号

指标项

重要性

指标要求

关键指标理由

*

电子光学系统

重要

*.*电子枪类型：场发射电子枪；

★*.*分辨率：≤*.***@***(**)，**≥*.***；

*.*放大倍率范围：**-*,***,***倍或者更宽；

*.*加速电压/着*电压：*.****-****或者更宽，步进***，加速电压连续可调；

*.* 电子束流：最大束流不小于****

*.*配备样品台减速模式；

*.*样品通用性好，可对磁性材料进行高分辨成像，低电压下可直接对易损伤的不导电样品进行高分辨成像；

#*.*物镜光阑：物镜光阑孔数量≥*，光阑具有自加热清洁功能；

*.* 信号增强功能：电子光学系统内具有双向电磁效应，以增强信号接收功能；

*.**电子枪可以实现随时关闭，不需要**小时持续通电保持；

关键参数

*

探测器

重要

*.*信号检测系统：具备独立接收*次电子、背散射电子信息功能，同时也能够实现任意比例的*次电子信息和背散射信息混合功能，也可以混合不同探头信息；

*.*配置样品室内置式导航相机，方便导航观察位置；

*.*配置扫描透射探测器（****）；

关键参数

*

样品室

重要

★*.*样品交换仓：不小于*****直径的样品交换仓；

#*.*具有非接触防碰撞功能；

*.*配备高精度*轴优中心全自动马达样品台，移动范围不小于：*：*-*****，*：*-*****，*：*.*-****，*：***°（旋转）；样品台双向倾斜，倾斜范围不小于-*°至 +**°；

*.*配置马达台快捷控制器或轨迹球，多功能旋钮操作控制面板；

*.*预留能谱仪等常用接口和软件通讯接口；

关键参数

*

真空系统

重要

*.*样品室真空达**^-* **量级，电子枪真空达**^-* **量级，样品室日常抽到**^-***所需时间小于***；

#*.*真空系统，具备机械泵、分子泵、离子泵、化学吸收泵*级真空系统；

*.*全自动真空系统，完全气动阀自动控制。

关键参数

*

图像软件功能

重要

#*.*单张图片最大存储分辨率不小于*****×*****像素；

*.* 图像记录格式：****、***或****；

*.* 具有漂移校正软件和中心点功能；

*.* 所有扫描速度下均可进行像素平均，获得高质量图片；配有高级测量软件，倾斜校正；具有不少于**种扫描方式；

*.*齐全的软件功能，包括电镜操作、图像处理、测量、编辑等；

*.* 自动调整功能：具有自动对焦，自动调像散，自动合轴，自动漂移校正，兼有手动调整功能；

*.*配套计算机：*核处理器及以上***，固态硬盘，工作站**， ** 显存，**寸液晶显示器**，******* 操作系统，安装最高版本的全套控制和数据处理应用软件；

关键参数

*

能谱仪

重要

★*.*探测器：分析型***硅漂移电制冷探测器，有效面积*****^*，高分子超薄窗。

*.*封闭式真空系统，无需借助***抽放真空。

*.*重元素能量分辨率：** **保证优于*****（@计数率***,******）；保证符合*** *****:****标准。

*.*轻元素能量分辨率：* ** 保证优于****（@计数率***,******）；能量分辨率: * ** 保证优于****（@计数率***,******）；保证符合*** *****:****标准。

*.*元素分析范围: ***～****。

*.*探测器可软件控制，自动伸缩。

*.*具备元素******** ****实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图********的动态变化过程。

*.*在谱图实时采集时，动态显示********的定量分析结果，以含量、原子比或氧化物百分比呈现。

*.*具备元素面分布****实时刷新显示功能功能，可实时观测样品区域变化或者形态转变时，*******的动态变化过程。具备*峰修正功能, 开机后无需重新修正峰位。

*.**具有实时谱图比对功能。

#*.**线扫描分析每条线可包含高达****点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。

*.**定量分析：采用***定量修正技术。

*.**具有完备的***和****两个无标定量数据库。

*.**采用**脉冲与图像处理器，具备多探头控制能力，最多可同时控制和处理*个能谱检测器。

*

及配套设备

重要

★*.*配置不少于**年的灯丝耗材寿命，包含更换时的人工费（参考冷场≥*套，热场≥*套）；

*.*标准样品台，特殊样品台*套；

*.*机械泵、冷却循环水装置、空压机*套

*.*低噪音***（*小时续航能力）；

*.*碳导电胶带*卷；

*.*其他保证仪器长期正常运行和常规保养所需的全套标准、专用工具和消耗品；

关键参数

序号

指标项

重要性

指标要求

关键指标理由

*

电子光学系统

重要

*.*电子枪类型：场发射电子枪；

★*.*分辨率：≤*.***@***(**)，**≥*.***；

*.*放大倍率范围：**-*,***,***倍或者更宽；

*.*加速电压/着*电压：*.****-****或者更宽，步进***，加速电压连续可调；

*.* 电子束流：最大束流不小于****

*.*配备样品台减速模式；

*.*样品通用性好，可对磁性材料进行高分辨成像，低电压下可直接对易损伤的不导电样品进行高分辨成像；

#*.*物镜光阑：物镜光阑孔数量≥*，光阑具有自加热清洁功能；

*.* 信号增强功能：电子光学系统内具有双向电磁效应，以增强信号接收功能；

*.**电子枪可以实现随时关闭，不需要**小时持续通电保持；

关键参数

*

探测器

重要

*.*信号检测系统：具备独立接收*次电子、背散射电子信息功能，同时也能够实现任意比例的*次电子信息和背散射信息混合功能，也可以混合不同探头信息；

*.*配置样品室内置式导航相机，方便导航观察位置；

*.*配置扫描透射探测器（****）；

关键参数

*

样品室

重要

★*.*样品交换仓：不小于*****直径的样品交换仓；

#*.*具有非接触防碰撞功能；

*.*配备高精度*轴优中心全自动马达样品台，移动范围不小于：*：*-*****，*：*-*****，*：*.*-****，*：***°（旋转）；样品台双向倾斜，倾斜范围不小于-*°至 +**°；

*.*配置马达台快捷控制器或轨迹球，多功能旋钮操作控制面板；

*.*预留能谱仪等常用接口和软件通讯接口；

关键参数

*

真空系统

重要

*.*样品室真空达**^-* **量级，电子枪真空达**^-* **量级，样品室日常抽到**^-***所需时间小于***；

#*.*真空系统，具备机械泵、分子泵、离子泵、化学吸收泵*级真空系统；

*.*全自动真空系统，完全气动阀自动控制。

关键参数

*

图像软件功能

重要

#*.*单张图片最大存储分辨率不小于*****×*****像素；

*.* 图像记录格式：****、***或****；

*.* 具有漂移校正软件和中心点功能；

*.* 所有扫描速度下均可进行像素平均，获得高质量图片；配有高级测量软件，倾斜校正；具有不少于**种扫描方式；

*.*齐全的软件功能，包括电镜操作、图像处理、测量、编辑等；

*.* 自动调整功能：具有自动对焦，自动调像散，自动合轴，自动漂移校正，兼有手动调整功能；

*.*配套计算机：*核处理器及以上***，固态硬盘，工作站**， ** 显存，**寸液晶显示器**，******* 操作系统，安装最高版本的全套控制和数据处理应用软件；

关键参数

*

能谱仪

重要

★*.*探测器：分析型***硅漂移电制冷探测器，有效面积*****^*，高分子超薄窗。

*.*封闭式真空系统，无需借助***抽放真空。

*.*重元素能量分辨率：** **保证优于*****（@计数率***,******）；保证符合*** *****:****标准。

*.*轻元素能量分辨率：* ** 保证优于****（@计数率***,******）；能量分辨率: * ** 保证优于****（@计数率***,******）；保证符合*** *****:****标准。

*.*元素分析范围: ***～****。

*.*探测器可软件控制，自动伸缩。

*.*具备元素******** ****实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图********的动态变化过程。

*.*在谱图实时采集时，动态显示********的定量分析结果，以含量、原子比或氧化物百分比呈现。

*.*具备元素面分布****实时刷新显示功能功能，可实时观测样品区域变化或者形态转变时，*******的动态变化过程。具备*峰修正功能, 开机后无需重新修正峰位。

*.**具有实时谱图比对功能。

#*.**线扫描分析每条线可包含高达****点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。

*.**定量分析：采用***定量修正技术。

*.**具有完备的***和****两个无标定量数据库。

*.**采用**脉冲与图像处理器，具备多探头控制能力，最多可同时控制和处理*个能谱检测器。

*

及配套设备

重要

★*.*配置不少于**年的灯丝耗材寿命，包含更换时的人工费（参考冷场≥*套，热场≥*套）；

*.*标准样品台，特殊样品台*套；

*.*机械泵、冷却循环水装置、空压机*套

*.*低噪音***（*小时续航能力）；

*.*碳导电胶带*卷；

*.*其他保证仪器长期正常运行和常规保养所需的全套标准、专用工具和消耗品；

关键参数