磁控溅射系统采购竞价公告
招标公告 磁控溅射系统采购竞价公告
更新时间 2024-05-11
关键词
山西省   磁控溅射系统
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项目名称磁控溅射系统采购项目编号************-***
项目编号************-***
公告发布日期****/**/** **:**公告截止日期****/**/** **:**
公告截止日期****/**/** **:**
采购单位山西师范大学[联系方式]是否本地化服务
是否本地化服务
联系人中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看
联系手机中标后在我参与的项目中查看
采购预算¥**,***.**是否需要踏勘
是否需要踏勘
踏勘联系人踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点踏勘联系时间
踏勘联系时间
送货/施工/服务期限*-*月
送货/施工/服务地址山西省太原市小店区太榆路***号山西师范大学[联系方式]北区*号教学楼****
售后服务(*)要求用户可以随时通过电话、电子邮件等方式与厂家维修人员联系。(*)在收到用户技术服务的通知后,要求厂家在*个小时内作出响应,*小时内提供解决方案。(*)如果通过电话、传真、电子邮件等手段不能解决问题,确认有必要派遣工程师到达用户现场的情况下,厂家需在*个工作日内派遣工程师到达用户现场。
付款条款交货并验收合格后***%付款
其他说明
   采购清单
*
采购内容数量单位
磁控溅射系统*(套)
是否进口
参考品牌及型号不限定品牌型号
技术参数要求*、真空极限:优于*.*×**-* ****(烘烤后)*、基片:基片台有负偏压装置,可加 -*** *的负偏压,可实现对样品的刻蚀,改善样品的致密性等参数*、溅射靶:*个* ****圆形阴极,强磁场* 个,普磁场* 个,可开展**、**、****、****镀膜生长*、气路系统:配置*路氩气质量流量计进气,实现溅射气压的调节*、工作模式:向上溅射(基片台再腔室顶部,靶在腔室底部)*、膜厚均匀性:溅射区域达* ****,保证****×****区域均匀性*%*、报警及保护:对靶、泵、电机缺水、过流过压、断路等异常情况进行监控报警并执行相应保护措施
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