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【先进制造】【新能源】【新材料】***********大尺寸超高导热金刚石单晶制备技术(航天学院)
【成果简介】
随着高频电子装备集成化及**通信、物联网、超算及数据中心等战略新兴行业的应用数量骤增,功耗指数级增长,器件散热成为限制关键应用的最大瓶颈。团队围绕节能减排、智能制造、高频通信等国家重大战略对超高导热材料提出的迫切需求,完成了新模式微波***研制、低缺陷高导热金刚石生长、器件兼容金刚石增强导热应用验证等内容,发明了氧化物介质层调控界面载流子输运技术,抑制载流子界面复合,获得了高开路电压(*.**)、抗辐照、长寿命金刚石同位素电池,打破国外技术壁垒,建立自有知识产权体系,装备及材料性能得到行业认可。相关研究成果荣获中国专利金奖。
【技术指标】
该技术采用自研设备配套晶体生长工艺,提升金刚石热导率突*****/(*·*),协同实现了金刚石高品质及高速率两个关键要素,降低成本,有助于产业化应用。突破了金刚石*维集成封装的通孔加工宏量制备与沉铜电连接技术瓶颈,界面连接强度提高*倍以上,微波功率器件电流密度提升**%以上。
【典型应用】
该技术可广泛应用于金刚石材料生长制备,用于下*代半导体衬底研发、半导体散热、高能激光/微波窗口等领域。相关研究成果成功应用于中国电科集团***器件、华为相关散热应用等。
【联系人及联系方式】
乔老师,****-********
马老师,****-********
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