序号 | 标的名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 是否限定品牌 | 技术要求 |
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* | 残余气体分析仪 | *.** | 台 | 美国***/****** | 是 | *.探测器类型:带法拉第杯(**)带电子倍增(**) *.分辨率:优于*.**** *.灵敏度(*/****):****-*(**) *.探测极限:****-******(**)****-** ****(**) *.测试范围:**-* **** ** *** (**) **-* **** |
* | 观察窗 | *.** | 台 | 德国**** *. ******/****-**** | 是 | *.法兰:材料为不锈钢**** ***.观察窗材料:石英玻璃*.尺寸:*******.观察窗面积:*.**.观察窗厚度 ≥*.****.烘烤温度: ***℃ |
* | 磁力杆 | *.** | 台 | 美国*** ********/***** | 是 | *.高性线力:** ****.紧密线性顺应性:*.**** **/** *.旋转扭矩:** **-***.旋转合规性:* ******/**-***.烘烤温度:***℃*.材料:******.轴数量:*个*.运动方式:直线或旋转 |
* | **移动平台 | *.** | 台 | 德国**** *. ******/****-**-** | 是 | *.材料为不锈钢*.尺寸:*****.**可移动行程: ±** ***.精度:手动驱动 +/- *.** **,步进机驱动精度:+/- *.*** ** |
* | 全金属角阀 | *.** | 台 | 瑞士***/*****-**** | 是 | *.材料为不锈钢全金属极高真空阀门*.尺寸**** (* ?")*.法兰:**-* *.漏率:≤*·**-** **** **-* *.压力范围:**** ** * *** (***)*.使用寿命:≥****次*.烘烤温度:阀门***℃ |