山西大学紫外光刻机采购项目（SDDY-220305）单一来源征求意见公示-比比招标网

山西大学拟购置*** ***公司生产的紫外光刻机主要用于离子阱量子计算研究。在芯片离子阱量子计算的实验中，需要通过芯片阱的设计来突破常规离子阱的规模限制，从而获得更大规模的离子阱量子位，其光刻有效范围： *英寸方形；曝光精度：*.***微米(***)；分辨率小于*微米；光照强度不均匀性指标（以*****波长为参考）≤±*% 辐照中心点*英寸范围内；对准系统为双***照相对准系统连续视频缩放范围在***-***倍，分视野；对准精度≤±*.*微米；放大倍率连续可调：标配***-****。目前能满足上述特点的紫外光刻机只有美国*** ***公司生产，所以申请单*来源购置该紫外光刻机。

本次拟购买的美国*** ***公司生产的紫外光刻机设计易于操作、稳定性极高，具有稳定的可重复曝光功能，可以实现均匀可控的紫外光输出，是完成实验研究和教学科研工作中必不可少的设备之*。

拟采购的货物或服务的预算金额： ****** 元

采用单*来源采购方式的原因及说明：目前满足上述参数的紫外光刻机，只有美国*** ***公司生产，北京泰和浩天科技有限公司是美国*** ***公司在中国此项目授权的唯*代理商，因此，申请以单*来源方式采购。

*、拟定供应商信息

名称：　北京泰和浩天科技有限公司

地址：　北京市朝阳区阜通东大街**号楼**层（**）**** 　

*、公示期限

**** 年 * 月 ** 日至 **** 年 * 月 ** 日（公示期限不得少于*个工作日）

*、其他补充事宜：

*、联系方式

*.采购人

联系人：　程斌　

联系地址：　山西省太原市坞城路**号　

联系电话：　　 ****-*******　　　

*.监督部门

联系人：山西省财政厅政府采购管理处

联系地址: 太原市小店区学府街**号

联系电话： ****-*******

*、

*、专业人员论证意见

*、紫外光刻机采购项目明细

*：

紫外光刻机采购项目明细

序号

货物名称

数量

单位

预算单价（元）

预算总价(元)

品牌规格型号及配置技术参数

备注

紫外光刻机

套

******

*.主要技术指标：

**.* 要求****近紫外光源和双通道固定光强和固定功率电源控制器，紫外波长范围***-***** *英寸方形光刻辐照输出光源

**.* 可达到输出紫外光强照度参数如下：

*** ** – **-** **/***

**.* 光刻有效范围： *英寸方形

**.* 光照强度不均匀性指标（以*****波长为参考）: ≤±*% （辐照中心点*英寸范围内）

**.* 光刻最佳分辨率：≤*.*微米

**.* 对准系统为双***照相对准系统连续视频缩放范围在***-***倍

**.* 对准精度:≤±*.*微米

**.* 显微镜系统需具备位置记忆功能(即显微镜可以自动回到上*次设定的位置)

**.* 具备氮气通入功能(可于掩模板和基板之间通入氮气使其分离)

*.** 需具备携行补偿模式的自动*轴方向水平补偿功能

**.** 对准工作台调整范围：*轴±**.***，*轴±**.***，θ角±*°，*****精度：±*.****度

*.** 曝光模式支持接近式、软接触、硬接触、真空接触；

*.** 配置温度及气流感应器并带有安全控制开关；

*.** 配置氮气通路，可用于掩膜板和基板之间分离

*. 光源部分

*.* 光强控制：恒光强和恒功率选择控制，光强和功率可调；

*. 光强均匀性

*.* ±*%，*****″晶圆基板；

*.* ±*%，****″晶圆基板；

*.* 紫外光灯源波长范围：***～*****；

*.* 曝光时间：*.*～***.**联系可调，最小调节尺度*.**。

*. 配置

*.* 抗衍射光反射镜及蝇眼棱镜。

*. 对准系统

*.* 配备棱镜对准装置，最小双视场对准间距≦****；

*.* 对准工作台调整范围：*轴±**.***，*轴±**.***，θ角±*°，*****精度：±*.****度；

*. 其他配置

*.* 进口无油真空泵：压力**-******；

*.* 抗震台；

进口

合计

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