实验真空腔体
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招标公告
实验真空腔体
更新时间
2024-09-23
关键词
真空腔体
| 申购单主题： | 实验真空腔体 | 申购单位： | 柔性电子学院 | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 商品名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
| 实验真空腔体 | 微纳真空 | ****-*** | * | 国内含税价/人民币 | |||
| 售后服务 | 负责现场安装，以及将客户提供的配件与腔体组装。 | ||||||
| 规格 | *.真空腔室：******不锈钢，Φ***×******，双层水冷，立式前开门结构；真空室内表面及防污板抛光至镜面，前门采用锻铝材质； *.真空系统：复合分子泵（抽速：**** */*）+直联旋片泵（抽速***/*）；“两低*高”数显复合真空计（测量范围：*×*** **～*×**-***）； *.真空极限：优于*.*×**-***； *.抽速：抽至**-***≤*****； *.基片台：标配：平板式基片台；抽屉式结构，基片托尺寸：***×*****，该范围内可装卡各种规格的样品/基片；基片台配有气动挡板，磁流体密封；基片台旋转：旋转速度*-**转/分连续可调，磁流体密封，光控定位，设定在前门中心位置方便取样；基片掩膜：提供*块掩膜板（掩膜图案客户提供）； *.腔室开孔：根据客户要求开具相应接口，包括但不限于：*****分子泵抽气口，****前级泵抽气口，充气阀接口，放气阀接口，*英寸基片台接口，以及具备升级电子束蒸镀功能的所有接口； *.负责现场安装，以及将客户提供的配件与腔体组装。 | ||||||
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