西安工业大学****年**月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下:
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
---|---|---|---|---|---|
* | 西安工业大学射频电源采购项目 | 采购内容:射频电源;主要功能或目标:***,**.*****电源*.输出功率:*****,可选功率范围: ** ~ 正常输出功率;*.电压驻波比(****)接近理想匹配状态,设备可输出其全部标称功率;电压驻波比在失配状态时(*****.* : *:),设备可输出其全部标称功率的**%;电压驻波比在极端不匹配时(****接近无限时)输出功率(正向功率)大于标称功率的**%;*.最大反射功率: *****,标称负载阻抗: **Ω.*.输出频率及误差: **.***** ± *%.*通信接口:有同步接口;有模拟/数字,可选配 **-*** / **-***/********/************,**.*****电源*.功率输出范围:** – *****,最大反射功率: *** *当电压驻波比(*****:*~*:*),设备可输出其全部标称功率;当电压驻波比(****)极端不匹配时(****接近无限时),输出功率(正向功率)大于标称功率的**%;*.输出频率: **.** *** ± *.*** %;*.输出阻抗: ** Ω;谐波: -** ***;杂波: -** ***;功率精度:±** ** ±* %;浪涌:±**;输出功率重复性:±** ** ±* %*.可选择运行常规模式和脉冲模式,常规模式:正向功率、负载功率、外部电压;脉冲模式:* **–** ***,内部和外部信号源频率捷变:±*** ***(±*%)等;需满足的要求:可用于射频磁控溅射镀膜装置、射频离子源加工以及射频等离子体刻蚀加工专用设备中,磁控溅射源、离子源和等离子体源的射频电源提供等。。 | **.** | ****年**月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
西安工业大学
****年**月**日
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