微腔电子纸显示器件项目国际招标公告(*)
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| ****-************/** | 干式真空泵和分子泵(*) | **+***台 | 设备用途及基本要求:本设备是对阵列干刻装置、气相沉积装置进行真空排气和辅助排气的装置。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | ********/******* |
| ****-************/** | 干式真空泵(*) | **台 | 设备用途及基本要求:本设备是对阵列、彩膜、成盒设备进行真空排气的装置。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | *******/****** |
| ****-************/** | 掩膜板用搬送存储系统 | *套 | 设备用途及基本要求:**** *****主要用于****、**** ****的存储(包含翻转机、清洗机、拆包检查机)。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | *******/****** |
| ****-************/** | 斜光检查装置 | **台 | 设备用途及基本要求:本设备具有通过设备内安装的照明进行目视检查基板整面的功能,目的是各制程单元后及出货前检查****等宏观不良,并可快速反馈给前面的制程。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | *******/****** |
| ****-************/** | 阵列和彩膜装置用冷却机 | **台 | 设备用途及基本要求:冷却机是指经温度调节后的液体,在软管内循环、调节制程腔体和****的温度达到设定值的装置。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | *******/****** |
| ****-************/** | 微电腔高度测量装置 | *台 | 设备用途及基本要求:该装置用于*****制程,利用光学测量系统对贴合后微电腔高度测量,并根据设定标准进行判定,避免不良品产生。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | *******/****** |
热门推荐