序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
****-************/*** | *吋晶圆厂合金工艺生产机台;*吋晶圆厂薄膜高温 *******生产机台;*吋晶圆厂******* **** 工艺生产机台;*吋晶圆厂******** ******工艺生产机台;*吋晶圆厂**** ******工艺生产机台;*吋晶圆厂******* **** ********** 工艺生产机台 | *台;*台;*台;*台;*台;*台 | 设备要求结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | *******/****** |
****-************/*** | *寸碳化硅晶圆多晶硅/氮化膜刻蚀(****/******* ****)工艺生产机台;*寸碳化硅氧化膜刻蚀(***** ****)制造工艺生产机台;*寸碳化硅氧化膜刻蚀(***** ****)制造工艺生产机台;*吋碳化硅金属刻蚀(***** ****)制造工艺生产机台 | *台;*台;*台;*台 | 设备要求结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | *******/****** |
****-************/*** | *****碳化硅片湿法铝和镍去除工艺生产机台;*****碳化硅片碳清洗工艺生产机台;*****碳化硅片氧化物去除工艺生产机台;*****碳化硅片湿法聚合物去除工艺生产机台;****碳化硅片后道去胶和钛去除工艺生产机台;*****碳化硅片湿法前道去胶艺生产机台;*****碳化硅片预清洗工艺生产机台;*****碳化硅片预清洗工艺生产机台;*****碳化硅片湿法控片回收清洗工艺生产机台 | *台;*台;*台;*台;*台;*台;*台;*台;*台 | 设备要求结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | ********/******* |
****-************/*** | *寸碳化硅晶圆*****工艺生产机台 | *台 | 设备要求结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | *******/****** |
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