磨抛清洗机需求公示-比比招标网

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公告摘要

受业主*******委托，招标网于****年**月**日发布招标预告：磨抛清洗机需求公示。各有关单位请尽快与采购业主相关联系人联系，及时参与投标等相关工作，以免错失商业机会。部分信息内容如下：（查看详细信息请）

( 磨抛清洗机 )需求公示

项目名称

磨抛清洗机

是否预选项目

否

采购人名称

******研究院

采购方式

公开招标

财政预算限额（元）

*******

项目背景

该项目为***科技创新委员会**超滑技术平台建设项目，批复文号**科技创新[****]***号，项目资金已到位，采购金额为***万人民币，采购方式为公开招标，采购资金从超滑设备平台项目支付。

投标人资质要求

*）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）； *）本项目不接受联合体投标，不允许分包，接受投标人选用进口产品参与投标； *）参与政府采购项目投标的供应商近*年内无行贿犯罪记录（由采购中心定期向*人民检察院申请对政府采购供应商库中注册有效的供应商进行集中查询，投标文件中无需提供证明材料）； *）（*.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；*.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；*.不得违反《**经济特区政府采购条例实施细则》第***条的规定。）

货物清单

序号	采购计划编号	货物名称	数量	单位	备注	财政预算限额(元)
*	************	磨抛清洗机	.	套	公开招标，已经完成采购进口设备专家论证意见。	******.

具体技术要求

说明：投标人须如实填写《技术规格偏离表》，并按招标文件的要求提供相关证明资料，包括产品原厂说明书或产品彩页等。提供的证明资料与投标响应情况不相符的，视为《技术规格偏离表》填写不实。

序号	货物名称	招标技术要求
*	***化学机械抛光机	、概述：该化学机械抛光机主要用于晶圆上氧化物介质层的平坦化加工。通过更换抛光头可兼容英寸&**;英寸晶圆。
*、主要功能
▲.系统功能：手动上下片，程序自动进行抛光，配有终点监测装置。
.样品尺寸：通过更换抛光头可兼容英寸&*;英寸晶圆,配置和英寸各两个抛光头；
▲.抛光数据监测：具有摩擦力监测功能
▲.配备红外温度计实时监测抛光过程中抛光垫表面温度。
.设备配置齐全的安全联锁功能
.系统软件：可实现设备运行的实时过程监视，具备数据记录、防止误操作等功能，可快速地进行工艺配方编辑、修改、保存等.
*技术规格要求
.单工位设备，由单抛光盘和单抛光头构成
▲.抛光盘直径≥****(***)
▲.抛光盘快速更换式设计，更换抛光盘便捷方便
.抛光盘底座带有冷却水通道系统
.抛光盘转速范围：-****
▲.抛光头*****加压方式：气囊加压，带有背压功能
.***压力控制范围：-**/*
.保持环压力控制方式：气缸加压控制
.保持环压力控制范围：-/*
.抛光头转速范围：-*****
.抛光头摆动幅度：±***
.抛光头更换安装方便快捷，通过更换不同规格的抛光头，可兼容、*英寸晶圆的抛光。
▲.配有抛光液供应系统：个可调流量蠕动泵供液，*路独立的抛光液通道，滴液位置可调
.*配有抛光垫修整盘：金刚石修整丸片
▲.*修整盘控制方式：原地旋转式，随抛光头往复运动
.修整盘转速：-*****
.修整盘压力：-*****
▲.配置摩擦力&;温度终点监控系统：含专用监测软件，带有* *** *******功能
▲.控制系统：工控机控制，触摸屏操作，可存储*个加工程序
▲.加工程序分段控制：加工程序最多可设个不同加工阶段，各阶段的转速、压力等均可独立设置。
.晶圆抛光晶圆内不均匀性（***）≤%（****，去边*）。
.晶圆抛光晶圆间不均匀性（***）≤%（****，去边*）。
. 抛光后样品总厚度偏差（**）：≤±μ***********英寸
.抛光后粗糙度*≤.*@ **；
*	半自动双轴减薄机	*设备用途及组成
▲.提供&*;英寸**晶圆减薄功能，双砂轮轴结构，可实现粗磨+精磨功能
▲.设备组成: ：设备主要由双砂轮轴系统﹑往复移动式吸盘轴系统﹑砂轮进给系统﹑自动测厚系统﹑主轴冷却水系统﹑真空系统组成。
*.主要技术指标
.加工晶圆尺寸：兼容直径&*;英寸晶圆
▲. 砂轮轴数量：*个，可分别安装粗磨砂轮、精磨砂轮，无需更换砂轮即可实现晶圆的粗磨+精磨
▲.砂轮主轴转速可调，最大转速≥*******
.吸盘轴转速可调，最大转速≥******
▲. 吸盘移动方式：**导轨和滚珠丝杆组合，左右移动式
. 轴行程≥****
▲. 砂轮进给系统数量：个，控制方式：*导轨和滚珠丝杠组合
▲. 最小进给速率≤.*/
▲. 需配置自动测厚系统，在线测量晶圆厚度，校正补偿减薄尺寸精度。
▲.* 厚度在线测量量程-*****
▲.* 厚度在线测量分辨率 .**
▲.* 厚度在线测量重复精度 ±.****
.* 界面操作方式：触屏
▲.* 操作系统：******* *操作系统，工控机控制
.* 权限设置：提供操作权限分级管理
.* 支持历史加工数据记录、存储及导出功能，配有***接口
.* 冷却系统：带主轴冷却系统，配置冷水机
.* 真空系统：自配真空系统
▲.* 程序设计：*段式加工程序，各阶段砂轮轴转速、吸盘轴转速、进给速度均可调
▲.* 具备砂轮超负载等待自适应功能
.* 单片晶圆内的厚度偏差* ≤ （测量点为**边缘往内**）
.碎片率 ≤ ‰
.* **≤
*	***后清洗机	、概述：设备为适用于**后单片晶圆清洗的干进（或湿进）干出设备，手动上下片；设备为独立成熟产品，并已在国内外大学或科研机构有同行应用
*、主要功能及规格
▲.设备功能：具有双面*刷刷洗，兆声清洗，吹干，高速甩干功能。
▲.样品尺寸：通过更换洽具具备、英寸晶圆清洗能力，配备两套,寸治具；后续通过洽具的升级具备扩展到*****英寸晶圆清洗的能力。
▲.设备材质要求：内腔体材质为优质聚氟乙烯（***）
▲.设备结构：个腔体，包含双面刷刷洗、兆声清洗、吹气、高速甩干等机构，集成度高。
.清洗液&*;*;供给：喷嘴；流量可调
▲.双面刷洗机构：**刷子，数量：个
▲.刷洗方式：夹住晶圆实现晶圆双面同时刷洗。
.刷子尺寸：***** = ***** ，更换方便快捷
.刷子位置间隙调整：手动调整-**~*
.刷子转速：*********
▲.配有兆声清洗，**漂洗
▲.干燥方式为吹干+高速甩干：甩干转速*********
.控制系统：**控制系统+触摸屏

商务需求

序号	目录	商务需求
（*）免费保修期内售后服务要求
*	维修及维护服务	.▲各投标人应在投标文件中列明各主机、配件和易耗品的保修期限, 并承诺提供整机免费保修期 * 年，终身维修。保修期内,年度定期预防性维护保养次数应不少于 * 次。保修期内免费更换*配件、免工时费。设备在保修期内需由原厂进行维修，出原厂维修报告。
.▲由设备制造商提供售后服务，小时内响应，小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和配件供应及时，特殊情况下可提供备用方案。*省内有相应的维修机构，并出具证明文件。
.投标人负责货物的终身维修，保证 ** 年以上供应维修配件，如如果因机器和配件停产造成设备无法维修者（维修周期同故障处理条款内容），必须无条件免费更换整机保证完好使用。
.免费提供技术咨询及软件升级，提供产品终身技术服务。
.提供与产品原厂签订的售后服务协议书。
. 确保在指定实验室安装后设备性能达标。实验室位于**坪山区国富文化创意产业厂区厂房层。中标单位需确保其设备在该环境中能够正常使用。建议对隔振等环境因素有特殊要求的厂商提前到现场了解测试，并提供自己的解决方案。
*	质量保证	.保修期内因质量问题停机不超过次,因故障总停机时间不超过个月。否则**质保期或更换新机。
.保修期到期前*个月内投标人需提供设备运行状态评估报告及过保后设备维护方案，保证提供有效的非现场技术支持服务和联系方式。
（*）免费保修期外售后服务要求
*	维修*配件、消耗品和延续保修合同的报价	.▲由设备制造商提供售后服务，小时内响应，小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和*配件供应及时，特殊情况下需提供备用机或其他临时解决方案。
.保修期满后，投标人应以优惠价供应维修配件、消耗品和延续保修合同。价格最高的前项配件、消耗品和延续保修合同的报价明细必须填写于《配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中。
.采购人可与投标人就优惠价进行谈判，但优惠价不得高于投标人在投标文件的《配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中承诺的维修配件、消耗品和延续保修合同的报价。
.设备制造商维修的货物经采购人验收合格，且设备制造商提供维修专用发票后，采购人支付维修费用。
.免费提供技术咨询及软件升级，提供产品终身技术服务。
（*）其他商务要求
*	交货要求	..签订合同后，自收到采购人通知后 *** 个日历日内交货
.投标人应提供货物的技术文件，包括但不限于设备配置清单、产品说明书、图纸、操作手册、维护手册（含维修密码及接口数据）、质量保证文件、服务指南等，所有外文资料须提供中文译本。文件应随货物*并交付至采购人指定地点。
.提供的货物必须为全新、经检验合格的产品。产品如需要计量检定的应提供相关计量检定部门出具的合法检定报告。
.投标产品必须为整机原厂生产产品。
.如为进口产品，必须具有报关证明文件、原产地证明和商检合格证明文件，必须提供原产国相关进口资料；不接受分厂、贴牌及非正当进货渠道产品。
*	运输、安装和验收	.投标人负责将货物安全无损运抵采购人指定地点(**坪山区国富文化创意产业厂区厂房层),并承担设备的包装、运输、保险、装卸、安装调试、培训、商检及计量检测、关税、增值税和进口代理等费用。机器安装调试完毕，采购人正式投入使用___**天__后，无故障方签署验收报告，保修期自验收培训完成起开始计算。
.采购人有权检验或测试货物，以确认货物是否符合合同规格的要求，并且不承担额外的费用。如果发现所交货物与投标文件中所承诺的不符或存在质量、技术缺陷等,采购人可以拒绝接收该货物,投标人应在 ** 天内采取补足、更换或退货等措施,以满足规格的要求，由此发生的*切损失和费用由投标人承担。
.投标人负责货物的现场安装和调试,提供货物安装、调试和维修所需的专用工具和辅助材料。投标人应在货物运至指定地点后天时间内开始安装调试,并在天天内安装调试完毕。
.由投标人代表和采购人组成验收小组对产品进行验收。验收标准按照国家规定标准执行。经检验设备正常运作后签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算。
*	培训	.▲中标人应派专业技术人员免费对采购单位指定人员进行定期培训及指导，直至其完全掌握设备的使用和基本故障处理技术。
.现场培训：中标人应提供现场技术培训，保证使用人员正常操作设备的各种功能，分为设备和应用培训。
.集中培训：根据设备技术要求，可向中标人提供使用和维修技术人员培训。
.计算机辅助培训：针对该机型的多媒体互动操作教学软件，方便学习掌握基本操作和各项高级功能。
.网络教育：专业化产品俱乐部网站，提供与世界各地用户和专家进行网上交流和学习的平台，并随时了解最新的技术进展和各种教育课程、会议信息。
*	知识产权	.投标人应保证采购人在使用该货物或其任何部分时，免受第方提出的侵犯其专利权、商标权、著作权或其它知识产权的起诉。投标人保证所提供软件的合法性，所发生的任何知识产权纠纷与采购人无关。
.采购人购买产品后，有权对该产品与其他设备进行配套、整合或适当改进，而免受侵犯专利权的起诉。
.知识产权归属：双方共同进行的设备改造，知识产权应遵守双方约定，中标人不得在采购人不同意的情况下，泄露或销售相关技术内容或设备改造方案。
*	付款方式	合同签署后个工作日内，采购人支付%预付款。货到验收合格后，中标人凭验收报告，采购人个工作日内支付**%货款。
*	违约责任	.货物抵达目的港 ** 天内，如发现质量、规格、数量与合同的约定不*致，除保险公司或运输代理声明负责的以外，采购人有权根据中国检验检疫局出具的检验证书要求换货或要求赔偿，所需费用（如检验费、退回次品运输替换货品的运费、保险费、仓储费、装卸费等）由投标人承担。
.
*	其他	.投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
.提供原厂技术彩页，原厂技术彩页必须支持投标产品。
.消耗品/*配件供应及时（请附近期全部耗材成交目录），必须以本地最优惠价格提供。

技术规格偏离表

序号

货物名称

招标技术要求

投标技术响应

偏离情况

说明

商务规格偏离表

序号

招标商务条款

投标商务条款

偏离情况

说明

（*）免费保修期内售后服务条款偏离表

……

（*）免费保修期外售后服务条款偏离表

……

（*）其他商务条款偏离表

……

评标信息

序号	评分项	权重
*	价格	**
*	技术部分	**
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
*	技术保障措施	*	专家打分	在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优*分，良分，中*分，差分打分。
*	技术规格偏离情况	**	专家打分	. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得*分，带▲每负偏离项扣*分，其余每负偏离项扣*分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。
*	商务需求	*
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
*	免费保修期内售后服务条款偏离情况	*	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得**分，带▲每负偏离项扣*分，其余每负偏离项扣*分。（“”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与*般参数设定不同的扣分档次）。
*	免费保修期外售后服务条款偏离情况（可选）	*	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得**分，带▲每负偏离项扣*分，其余每负偏离项扣*分。（“”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与*般参数设定不同的扣分档次）。
*	其他商务条款偏离情况	*	专家评分	投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得**分，带▲每负偏离项扣*分，其余每负偏离项扣分。（“”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与*般参数设定不同的扣分档次）。
*	综合实力部分	*
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
*	投标人近*年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）	*	专家评分	提供个同类业绩即得满分，提供个得*分，提供个得*分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。
*	履约评价	*	专家评分	根据*政府采购履约评价库中的资料打分。履约评价无差评的得分，有差评的得分。

其它

*：采购需求公示期限为**小时（公休日、节假日时间不计算在内）。在公示期内，供应商如需要对采购需求提出意见或建议的，可登录***政府采购网，在“采购申报→提出需求疑问”功能点填写意见或建议，由采购人进行回复。 *：采购需求不等同于正式发布的采购文件，对采购需求提出意见或建议不属于对采购文件质疑。

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