光刻机
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招标公告
光刻机
更新时间
2021-09-18
关键词
四川省
光刻机
| 申购单主题： | 光刻机 | 申购单位： | 化学学院 | 是否含税： | 否 | 使用币种： | 人民币 |
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 是否标配 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 光刻机 | 成都鑫南 | *-****高精密单面光刻机 | 是 | * | 国内含税价/人民币 | ||
| 规格 | *-****高精密单面光刻机 *、光刻机的组成：由***紫外曝光头、***显微显示系统、对准工作台、电气控制系统构成。 *、曝光面积：***×*****； *、曝光照度不均匀性：≤±*%； *、曝光强度：*～****/***，无极可调； *、紫外光束角：≤*˚； *、紫外光中心波长：*****； *、紫外光源寿命：≥*万小时； *、采用电子快门； *、曝光分辨率：*μ*； **、显微镜扫描范围：*： ±**** *：±****； **、对准范围：*、* 调节 ±***；*向调节±*°； **、套刻精度：*μ* **、分离量；*～**μ*可调； **、曝光模式：密着曝光，可实现硬接触、软接触和微力接触曝光； **、找平方式：气浮找平； **、显微系统：双视场***系统（*套），显微镜***～****连续变倍（物镜*.**～***连续变倍），双物镜距离可调范围****～*****； **、掩模版尺寸：≤***×*****； **、基片尺寸：≤Φ*****； **、基片厚度：≤* **； **、曝光定时：*～***.*秒可调； **、电脑 ****** ****或者****，***** *核***，主频*.* ***,内存**, ****固态硬盘， ****+***多显卡支持，**寸液晶显示器 **、光刻机专用软件 配件：光强检测器*个（北京师范大学光电仪器厂，型号：**-*），无油真空泵（型号：**-****）*台，掩模版*套（方形，*"**",*"**",*"**"），承片台*套（*寸圆形*个，*寸圆形*个，*寸正方形*个，固定*******的承片台*个）。微型无油静音空压机*台 | ||||||
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