浙江大学温州研究院2022年1月政府采购意向-比比招标网

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）
*	半导体器件光刻系统	包括电子束（光学）曝光机、涂胶机、清洗机、光学显微镜、桌面电极蒸镀仪及其附属小型设备，形成*套半导体器件光刻系统	*******	**年月
*	原子层沉积设备	. 前驱体供给系统，挥发性液态通道个，难挥发及固态前驱体通道个，气态前驱体通道个；.控制精度可达到.*-.纳米/周期 . *反应器直径应大于等于 ,最高加热温度度；. *腔体真空度达到；.搭配高精度真空压力表，上限***,精度不低于.级；.路流量精确控制，-* *；.路温度控制，控制精度℃；. 最多实现组阀门开关时序控制；.搭配*反应控制程序，实现多种薄膜模式生长；.搭配控制柜、尾气处理系统等；.预装膜厚在线检测系统，探测精度.埃；.预留高温**反应模块接口	******	**年月
*	飞秒激光系统	超快激光系统包含飞秒激光器与线性光学参量放大器。其中飞秒激光器主要技术指标：）最大平均功率：≥@**-***；）脉宽：＜***，脉宽调谐范围：*-*；）最大脉冲能量：.*@-*****；）光束质量：***；&*;.；）基本重复频率：*—***可调；）中心波长：**±*；）脉冲与脉冲的稳定性：&*;.% ****（在稳定的环境下）；）输出功率稳定性：&*;.% * * ****；）前置脉冲对比度：＜: *；）后置脉冲对比度：＜:；）光束指向稳定性：&;μ**/°。其中线性光学参量放大器主要技术指标：）支持最大输入功率：*；）支持最大泵浦能量：**μ；）波长调谐范围：-**（信号光），-**（闲频光），倍频后调谐范围：-***；）峰值处转换效率：泵浦能量为-*时，&;.% @信号光，&*;% @闲频光，泵浦能量为-*时，&;% @信号光，&;% @闲频光；）脉冲能量稳定性：&;% *@*** ；）脉冲带宽：-***-@*-**；）脉冲宽度：*-**；）激光器和光学参量放大器通过电脑软件控制。	*******	**年月
*	超快瞬态吸收光谱仪	其中超快瞬态吸收光谱主机主要技术指标：）检测模式：透射/反射模式可切换；）光谱探测：可见光光谱仪配高速 **** 线阵传感器；）可见区白光光谱探测范围： - * (基于 **** 飞秒激光器) ；）高速光学延迟线：光学延迟线最快速度 ***/，精度. 微米；）检测时间窗口：（可拓展至 **）；）仪器时间响应函数 **：.* 倍激光脉宽；）配斩波器保护外壳；）可拓展近红外探测模块、微区模块、成像模块；）包含紫外拓展模块，采用晶体和蓝宝石，将白光光谱探测范围至 * 紫外区域；）软件系统采用/ 数据采集模式，可实时观测采集数据及光谱动态变化；采用/ 数据分析模式，数据点平均、多曲线动力学比较；包含***-*******，点时间矫正；包含单指数、多指数、幂指数等多种模式数据拟合程序。	******	**年月
*	**-湿度控制气液配气系统	气路通道包括 * 路背景气路、* 路载气气路、* 路目标气体气路（可以作为液体配气的参比气路）和 * 路目标液体气路；* 路湿气气路（干气和湿气）	******	**年月
*	*-光电气综合测试平台	电学分析系统、原位电学冷热台、静态配气模块、*** 光激发模块、可扩展功能	******	**年月
*	*-*柔性电子综合测试平台	原位力电冷热台、电学分析系统、温控模块、力电同步测量软件、*** 光激发模块、观测模块	******	**年月
*	*-*环境可控的探针测试平台	综合性能分析平台，可用于气敏、湿敏、光敏、光敏气敏、**、电化学等多方向的性能研究，适合各类敏感材料、微纳器件、晶体管、极管、功率半导体、* 等的性能分析，特别适合器件、*器件、传感器芯片等研究	******	**年月
*	云帆******对喷型静电纺丝	高压电源、*套高精尖微量泵、移动平台、环境控制精确、接收器多样化通过更改部件可以进行纱线纺织	******	**年月
**	多功能半导体参数测试系统	由测试分析仪主机、功率源测量单元模块，探针台，光源系统等组成。可对器件和材料的光电性能测试分析，可以测试薄膜晶体管，紫外探测器等多种光电器件。测量单元模块最大工作电压***，电流.，测试电流分辨率*，光源在紫外到可见光波段可调。	*******	**年月
**	大面积磁控溅射系统	磁控溅射；英寸衬底；靶材，共溅射；个靶材为射频，个靶材为直流；衬底加热最高温度*度；真空度^-**；路气体；计算机控制；配备冷水机；生长氧化物薄膜材料为主，也可沉积金属薄膜。	*******	**年月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

浙江大学温州研究院

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