项目概况
清华大学[联系方式]等离子体刻蚀机采购项目 招标项目的潜在投标人应在发售网址：****://**********.****.********.***.**获取招标文件，并于****年**月**日 **点**分（北京时间）前递交投标文件。*、项目基本情况
项目编号：清设招第*******号
项目名称：清华大学[联系方式]等离子体刻蚀机采购项目
预算金额：***.******* 万元（人民币）
采购需求：
| 包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
| ** | 等离子体刻蚀机 | *套 | 否 |
设备用途介绍 ：该等离子体刻蚀机用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆，从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。
简要技术指标 ：
真空系统：★分子泵抽速≥*****/*，干泵抽速≥*****/*；
下电极：★满足*英寸样品刻蚀需要，更小样品或碎片可贴片装载；
软件和控制系统：★自主版权的软件，*******操作系统软件；
机台工艺能力：★主要用于刻蚀薄膜铌酸锂材料、介质材料等。
合同履行期限：合同签订后*个月内交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
*、申请人的资格要求：
*.满足《中华人民共和国政府采购法》第***条规定；
*.落实政府采购政策需满足的资格要求：
扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等
*.本项目的特定资格要求：*）在中华人民共和国境内注册；*）符合《中华人民共和国政府采购法》第***条规定的条件；*）通过“信用中国”网站（***.***********.***.**）和中国政府采购网（***.****.***.**）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；*）不接受联合体投标；*）单位负责人为同*人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同*包号的政府采购活动；*）为某*包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；*）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。
*、获取招标文件
时间：****年**月**日 至 ****年**月**日，每天上午*:**至**:**，下午**:**至**:**。（北京时间，法定节假日除外）
地点：发售网址：****://**********.****.********.***.**
方式：本项目招标文件网上发售，潜在投标人在线提供申请材料，经审核通过后获取电子版招标文件
售价：￥*.* 元，本公告包含的招标文件售价总和
*、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）
开标时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）
地点：北京市海淀区清华大学[联系方式]华业大厦实验室处*区*层第*评标室（清华大学[联系方式]东南门东侧，无须办理入校手续）
*、公告期限
自本公告发布之日起*个工作日。
*、其他补充事宜
*、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
*.采购人信息
名 称：清华大学[联系方式]
地址：北京市海淀区清华大学[联系方式]
联系方式：李春艳 ***-********
*.项目联系方式
项目联系人：李春艳
电 话： ***-********
下载:
分享
客服电话 400-000-0388
