多腔室新型高k金属栅ALD生长系统采购国际招标公告(1)
分站
招标公告
多腔室新型高k金属栅ALD生长系统采购国际招标公告(1)
更新时间
2023-03-01
关键词
上海市
图片,教学研究
招标发布时间：****/*/* *:**:**
投标截止时间：****/*/** *:**:**
距离报名结束还剩
招标文件
入围供应商：*家
招标产品
| 产品名称 | 采购量 | 产品描述 | 产品文件 | 图片 |
|---|---|---|---|---|
| 多腔室新型高*金属栅***生长系统采购 | *套 |
供应商要求
- 发票要求：
- 不用发票（备注：专票资质可以报普票要求）
- 供应商性质：
- 注册资金：
- 无特殊要求
- 经营地址：
- 无特殊要求
商务条款
- 投标要求：
- 收获地：
- &**;上海
- 交货期：
- *天
详细说明
*、招标条件项目概况:本项目为多腔室新型高*金属栅***生长系统采购进行公开采购。本次招标要求卖方提供成熟产品，有丰富的设计、生产、安装调试、用户培训经验以及提供良好的售后技术支持，用于教学研究等。资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备*、招标内容招标项目编号:****-************招标项目名称:多腔室新型高*金属栅***生长系统采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| * | 多腔室新型高*金属栅***生长系统采购 | *套 | *、总体配置要求： **、设备适用于最大*英寸晶圆。 **、设备配置构成： （*）*个热原子层沉积*-***反应腔模块、主要沉积氧化物； （*）*个等离子增强原子层沉积*****反应腔模块、主要沉积氧化物和氮氧化物； （*）*个等离子增强原子层沉积*****反应腔模块、主要沉积氮化物和金属； （*）*个*端口的转接腔模块、带机械手； （*）*个手动预真空室、用于手动送片 *、技术指标要求： （*）热原子层沉积*-***反应腔模块：沉积氧化铝、氧化铪、氧化锆等氧化物薄膜。 *、反应腔： （*）反应腔内壁经耐腐蚀处理；内壁加热温度≥***℃； （*）样品载物台直径≥*****，兼容*英寸及以下的晶圆和不规则碎片；最高加热温度≥***℃； （*）配置不少于*路的独立的前驱体源入口； （*）配置独立的臭氧源入口； *、真空系统： （*）配置防腐蚀设计的罗茨干泵，抽速≥ *** **/**； （*）反应腔本底真空≤**-* ****；真空漏率≤**-* ****？*/*； （*）配置薄膜电容真空计，分辨率为满量程的*.***%； （*）配置快速响应的自动节流阀，保持工艺过程中腔体内压力稳定； （*）真空管路配置冷阱***** ****； *、前驱体源系统： （*）配置至少*路液体/固体前体源管路及相应的*** **前驱体罐；每路管路配置独立的阀门、***快速脉冲阀和温度传感器； （*）前驱体源管路种类至少为：*路带管路加热（最高***℃）的直抽管路；*路带管路加热（最高***℃）、前驱体罐加热（最高***℃）的直抽管路； （*）配置至少*路惰性气体（**或**）载气管路、连接至每*路前驱体源管路； *（*）***管路的惰性气体（**或**）载气管路须为单独*路； *、臭氧管路： （*）配置独立的臭氧管路，包括臭氧发生器、质量流量控制器***、气体探测器、阀门、控制机箱等。 *（*）臭氧发生量：≥* */*； （*）等离子增强原子层沉积*****反应腔模块（*）：沉积氧化铝、氧化铪、氧化钛等氧化物、以及氮氧铝等氮氧化物薄膜。 *、反应腔： （*）反应腔内壁经耐腐蚀处理；内壁加热温度≥***℃； （*）样品载物台（下电极）直径≥*****，兼容*英寸及以下的晶圆和不规则碎片；最高加热温度≥***℃； （*）配置不少于*路的独立的前驱体源入口； *、真空系统： （*）配置防腐蚀设计的罗茨干泵，抽速≥*** **/**； *（*）配置防腐蚀设计的涡轮分子泵，抽速≥*** */*； （*）反应腔本底真空≤**-* ****；真空漏率≤**-* ****？*/*； （*）配置薄膜电容真空计，分辨率为满量程的*.***%； （*）配置快速响应的自动节流阀，保持工艺过程中腔体内压力稳定； （*）真空管路配置冷阱***** ****； *、前驱体源系统： （*）配置至少*路液体/固体前体源管路及相应的*** **前驱体罐；每路管路配置独立的阀门、***快速脉冲阀和温度传感器； （*）前驱体源管路种类至少为：*路带管路加热（最高***℃）的直抽管路；*路带管路加热（最高***℃）、前驱体罐加热（最高***℃）的直抽管路；*路带管路加热（最高***℃）、前驱体罐加热（最高***℃）、并带起泡器*******的起泡器管路； （*）配置至少*路惰性气体（**或**）载气管路、连接至每*路前驱体源管路； （*）配置至少*路独立的气体源管路（**，***）；每路气体源管路须配有质量流量计（***）、颗粒过滤器和气体截止阀；对有毒/腐蚀性气体管路（***）须配有旁路******。 *、等离子体源系统： （*）采用真正的远程等离子体方式，等离子体不直接照射于样品、防止对样品表面的损伤（包括离子轰击、紫外辐照所造成的损伤）； （*）等离子体源的射频功率≥*** *，频率**.*****； （*）配有自动匹配盒，可通过固定匹配模式或者自动匹配模式稳定地起辉； *（*）配置计算机控制的自动隔离阀（等离子体快门）； （*）等离子增强原子层沉积*****反应腔模块（*）：沉积氮化铝、氮化钛等氮化物薄膜、铂等金属薄膜。 *、反应腔： （*）反应腔内壁经耐腐蚀处理；内壁加热温度≥***℃； （*）样品载物台（下电极）直径≥*****，兼容*英寸及以下的晶圆和不规则碎片；最高加热温度≥***℃； （*）配置不少于*路的独立的前驱体源入口； *、真空系统： （*）配置防腐蚀设计的罗茨干泵，抽速≥*** **/**； *（*）配置防腐蚀设计的涡轮分子泵，抽速≥*** */*； （*）反应腔本底真空≤**-* ****；真空漏率≤**-* ****？*/*； （*）配置薄膜电容真空计，分辨率为满量程的*.***%； （*）配置快速响应的自动节流阀，保持工艺过程中腔体内压力稳定； （*）真空管路配置冷阱***** ****； *、前驱体源系统： （*）配置至少*路液体/固体前体源管路及相应的*** **前驱体罐；每路管路配置独立的阀门、***快速脉冲阀和温度传感器； （*）前驱体源管路种类至少为：*路带管路加热（最高***℃）的直抽管路；*路带管路加热（最高***℃）、前驱体罐加热（最高***℃）、并带起泡器*******的起泡器管路； （*）配置至少*路惰性气体（**或**）载气管路、连接至每*路前驱体源管路； （*）配置至少*路独立的气体源管路（**，**, **, ***）；每路气体源管路须配有质量流量计（***）、颗粒过滤器和气体截止阀；对有毒/腐蚀性气体管路（***）须配有旁路******。 *、等离子体源系统： （*）采用真正的远程等离子体方式，等离子体不直接照射于样品、防止对样品表面的损伤（包括离子轰击、紫外辐照所造成的损伤）； （*）等离子体源的射频功率≥*** *，频率**.*****； （*）配有自动匹配盒，可通过固定匹配模式或者自动匹配模式稳定地起辉； *（*）配置计算机控制的自动隔离阀（等离子体快门）； （*）转接腔模块： （*）共*个端口；通过闸阀分别与*个反应腔模块、*个预真空室连接； （*）自动机械手，用于不同模块间传送样片； （*）上盖有透明观察窗口； （*）配置单独干泵和真空计，本底真空≤*.* ****，真空漏率≤**-* ****？*/*； （*）预真空室： （*）通过闸阀与转接腔模块连接；配透明上盖； （*）用于手动传送*英寸晶圆或托盘； （*）配置单独干泵和真空计，本底真空≤*.* ****，真空漏率≤**-* ****？*/*； （*）控制系统：系统须自动化操作，软件功能包括但不限于以下部分：权限管理、参数管理、手动控制、实时数据、数据记录、报警管理等。 详见第*章 货物需求*览表及技术规格 | 预算金额：人民币***万元,项目编号：**** |
友情提示：
为保证您能够顺利投标，请在投标或购买招标文件前向招标代理人咨询投标详细要求，具体要求及项目情况以招标代理机构或招标人的解释为准。
分享
热门推荐
项目推荐
客服电话 400-000-0388
