高真空电阻蒸发镀膜
分站
招标公告
高真空电阻蒸发镀膜
更新时间
2024-07-11
关键词
广东省
| 申购单主题： | 高真空电阻蒸发镀膜 | 申购单位： | 深圳超滑技术研究所 | ||||
| 申购备注： | 中标商必须开具增值税专用发票 | ||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 高真空电阻蒸发镀膜 | 不指定品牌 | 不指定型号 | * | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | *.蒸镀腔体：****** 不锈钢，*×*×*：***×***×*****（净尺寸）；真空室内表面及防污板等抛光至镜面；结构：方形，前后开门；顶部装配基片台、基片台挡板、膜厚仪探头、真空照明；底部装配蒸发源；主抽气口位于腔室底部正中心位置。 *.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵，超高真空气动插板阀；“两低*高”数显复合真空计，型号：***-*****，测量范围：*×***～*×**-***； *.真空极限：优于 *.*×**-***（*.*×**-*****）；抽速：分子泵完全启动，抽至 *.*×**-***≤*****；分子泵：型号 **-***/****，进气口法兰 *****，抽气速率：*****/*；机械泵：型号 ***-**，进气口法兰 ****，抽气速率：**/*；高真空测量规管采用贵金属氧化物阴极，具有抗氧化，耐瞬时大气冲击的特点，性能稳定，寿命长，规管灵敏度：*.**±**%**-*。 *.基片台：抽屉式结构，基片托尺寸：***×*****，该范围内可装卡各种规格的样品/基片；样品台配有气动挡板，磁流体密封；样品台旋转：旋转速度 *-** 转/分连续可调，磁流体密封，光控定位，设定在前门中心位置方便取样；样品掩膜：提供*块掩膜板 *.蒸发源：安装 * 组蒸发源；各源均有水冷且独立，可蒸镀金属材料（舟式源/挂丝源）和有机材料（坩埚源/盒式源） *.蒸发电源：* 台 *.*** 蒸发电源，可采用恒流/恒功率控制，可以预设工作电流； *.膜厚监控：采用 ******* 薄膜沉积监控仪（型号：***-***）在线监测、控制膜厚，* 只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±*.*Ā/*，厚度显示分辨率±*.*Ā； *.操控系统：*** 手自动控制，触摸屏操作； *.报警保护 缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、防误操作保护等。 **.主阀采用超高真空气动插板阀(***-***)； 预抽阀、前级阀采用高真空气动挡板阀（***-***），预抽阀和前级阀智能互锁；放气阀采用电磁截止阀（****-*），可与手套箱连接； **.备品备件清单：钨舟 ** 个；钼舟 ** 个；有机源坩埚 * 个；高纯铝颗粒 ** 克；高纯镍颗粒 ** 克；高纯铬颗粒 ** 克；高纯铜颗粒 ** 克；石英晶振片 ** 只；**** 铜垫圈 * 个；设备上相应规格密封圈 * 批；内*角工具 * 套，螺丝 * 批 **.安装需求：需要与手套箱厂家沟通，配合安装于手套箱内 。 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| 北京微纳真空技术有限公司 | ****** | 最低价原则 | |||||
分享
热门推荐
项目推荐
客服电话 400-000-0388
