申购单主题: | *****晶圆微电镀机(电镀系统辅助设备) | 申购单位: | 微电子科学与技术学院 | ||||
申购备注: |
设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
*****晶圆微电镀机(电镀系统辅助设备) | 凯瑞 | 组合 | * | 国内含税价/人民币 | |||
售后服务 | 根据行业标准提供售后服务。 | ||||||
规格 | *. ***** 真空润湿单元*个,型号:*-****-*-*****-**。功能:槽体配合夹具设计。德国进口瓷白 ****** 材料槽体,配密封上盖。槽体分上下两个独立槽体,下部为储水槽,上部为真空润湿槽。储水槽有管道与真空润润湿槽地部连接,之间配阀门。真空润湿槽内部有夹具固定位,上部有真空接口和排气口,侧面配液位显示。配隔膜真空泵,配真空检测装置。配独立电控单元。 *.***** 腐蚀活化单元*个,型号:*-****-****-**。功能:德国进口瓷白 ****** 材料槽体,配密封上盖,下排液、配合夹具设计。 *.***** 溢流清洗单元*个,型号:*-****-*****-**。功能:德国进口瓷白 ****** 材料槽体,配密封上盖。配合夹具设计。下部有进水口,上部有溢流口。 | ||||||
中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
************** | ***** | 最低价原则 |
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