北京怀柔实验室SIC2024年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告(1)
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北京怀柔实验室SIC2024年第一批机电设备采购项目评标结果公示公告(1)
更新时间
2024-12-16
关键词
北京市
机电设备,不均匀性
**************年第*批机电设备采购项目评标结果公示公告(*)
发布时间：****-**-**
项目名称：**************年第*批机电设备采购项目招标项目编号：****-************招标范围：*型碳化硅外延炉是*种通过化学气相沉积（***）方法生长碳化硅外延层的设备，该设备气流进气方向与晶圆表面垂直，兼容*/*英寸衬底，单次生长最大厚度≥***微米，且满足片内厚度不均匀性小于*%，片内掺杂浓度不均匀性小于*%,表面致命缺陷密度小于*.***^-*的技术指标。招标机构：********招标人：*******开标时间：****-**-** **:**公示开始时间：****-**-** **:**评标公示截止时间：****-**-** **:**中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| * | *******？**********,？***. | ******* **********, ***. | 日本 |
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