西安电子科技大学 - 结果公告 (CB107012024000101)-比比招标网

*.*电源系统： *.*.*射频电源:频率**.***** *.*.*功率*~****可调； *.*.*全自动真空电容匹配器； *.*真空系统： *.*.*飞越双级旋片泵(油泵): ***-**：****/* *.*.*真空计:日本爱发科皮拉尼真空计； *.*.*真空管路:抽真空全不锈钢管路，工艺管铁氟龙管路，以及高强度真空波纹管； *.*.*厚度：**** *.*.*密封性：军工级焊接密封 *.*.*可用空间间距：**** *.*.*工作空间：*层 *.*腔体系统： *.*.*铝合金真空腔体，军工级焊接密封，****厚度 *.*.*腔体内部尺寸:*************； *.*.*电极板布置方式:水平布置，可活动抽取； *.*气体系统： *.*.*气压阀，日本***，流量计 *~*******； *.*.*两路**+**；满足上述参数前提下，详细参考技术参数见附件（重要）

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