清华大学原子层沉积系统采购项目中标公告-比比招标网

公告信息：
采购项目名称	****原子层沉积系统采购项目
品目	货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表
采购单位	****
行政区域	北京市	公告时间	**年月日 :**
本项目招标公告日期	**年月**日	中标日期	**年月**日
评审专家名单	评标委员会名单：杨海方、褚卫国、刘建设、魏洋（前述专家均为自选专家）、李群庆
总中标金额	￥*.**** 万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人	王慧
项目联系电话	********
采购单位	****
采购单位地址	北京市海淀区****
采购单位联系方式	王慧********
代理机构名称	详见公告正文
代理机构地址	详见公告正文
代理机构联系方式	详见公告正文

“****原子层沉积系统采购项目”项目（项目编号：清设招第*******号）组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下： *、项目信息项目编号：清设招第*******号项目名称：****原子层沉积系统采购项目项目联系人：王慧联系方式：******** *、采购单位信息采购单位名称：****采购单位地址：北京市海淀区****采购单位联系方式：王慧******** *、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：用途和简要内容：基于*维和*维纳米材料的微纳米器件以及光电子器件等前沿课题的研究，主要用于制备超薄、厚度精确、均匀性好的硫化物和硒化物和金属氧化物薄膜材料。*.* *套真空加热腔体和可替换的两套不同材质的移动式内腔；********自动传输系统*套，含独立的进样、取样腔室，真空泵及机械手，具有自动传送整个移动式内腔的功能。★*.* 具有*路源系统：包括*路液态前驱体源系统，*路鼓泡前驱体源系统，*路特气源（***和****）输送系统。*.* 防腐蚀、耐高温的真空抽气系统*套（含高性能防腐真空泵）。*.* 控制系统*套；***+工控机+触摸屏及相应的操作系统软件，具有沉积自动控制功能与联动互锁保护功能。*.* 安全系统*套：包括紧急停止开关（***）、安全互锁功能和安全排气必备组件等。*.* 设备经常更换的备件及耗材*套，维修和操作工具（含专用工具）*套。*.* 其他备件及耗材：胺基钼**克、*羰基钼**克、**甲氨基锡**克、*甲基铝**克，鼓泡瓶*套，直通源瓶*套，水源瓶*套。 *、中标信息招标公告日期：****年**月**日中标日期：****年**月**日总中标金额：***.* 万元（人民币）中标供应商名称、联系地址及中标金额：中标人：************** 地址：浙江省嘉兴市南湖区亚太路***号（嘉兴科技城）*号楼***室中标金额：***.*万元人民币本项目招标代理费总金额：万元（人民币）本项目招标代理费收费标准：评标委员会成员名单：评标委员会名单：杨海方、褚卫国、刘建设、魏洋（前述专家均为自选专家）、李群庆中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：标的名称：原子层沉积系统规格型号：****-*****数量：*套单价:***.*万/套质保期：验收合格之日起*年 *、其它补充事宜