气相沉积系统CVD管式炉
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招标公告
气相沉积系统CVD管式炉
更新时间
2023-11-21
关键词
广东省
气相沉积系统,技术研究
| 申购单主题： | 气相沉积系统***管式炉 | 申购单位： | 深圳超滑技术研究所 | ||||
| 申购备注： | 中标商必须开具增值税专用发票 | ||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 气相沉积系统***管式炉 | 合肥科晶 | ***-********-***-*** | * | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | 设备名称型号气相沉积生长系统，品牌：合肥科晶，型号：***-********-***-*** *：▲ 最高温度：****℃（＜**） *· 连续工作温度：****℃ *· 加热元件：掺钼铁铬铝合金 *· 升温速率：≤**℃/*** · 热电偶：* 型 *· 加热区长度：不少余*****（*****+*****+*****） ** 配置不少于*对 ***** 定制水冷不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封 *▲真空系统• ***-******, 单相, **/****，压力恒定控制系统 *• 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)： *******（* *****）-----******（* *******）（按照进气量为 *******）； ********（****）-----*******（*******）（按照进气量为 *******） ********（****）-----*******（*******）（按照进气量为 *******） ********（****）-----*******（*******）（按照进气量为 ******） * 压力恒定控制精度：********-----*.*****（±%**）＞*.*****-----******（±%**） ＞** ****------*******（±%*） **；*炉供气系统，量程为甲烷******、氢气*******、氩气********和备用*******氮气标定精度：±*.*%**；线性：±(*.*～*.*)%*.*. 重复精度：±*.*%*.* **；*尾气过滤系统，干湿处理，气管不少*米 质保期 *年质保期，终身维护，售后服务：有专业安装培训工程师，中标后*天内供货，**小时内上门安装培训；质保期*年；供货商出具厂家盖章售后承诺函； 配置：高温炉*台；测温偶*根；炉管*根；高温手套*副；管堵*个炉钩*：****** *把 内*角扳手 **.* ** **各*把法兰Φ** *套 ，硅胶密封圈 内径Φ**,*个；炉管护套*副；说明书*本；质子系统*台；恒压控制系统 *台 。 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| ************* | ****** | 最低价原则 | |||||
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