原子层沉积系统
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招标公告
原子层沉积系统
更新时间
2023-12-07
关键词
福建省
研究中心
| 申购单主题： | 原子层沉积系统 | 申购单位： | 研究中心-海洋信息感知与融合团队 | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 原子层沉积系统 | 不指定品牌 | 不指定型号 | * | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | *.设备尺寸 (* * * * *): ************* *.电源：单相******/*.***/**，峰值功率 *.***/** *.前驱体：*个单管式****固体液体源接口，*条清扫气线，* 个单管式****前驱体源 *.前驱体加热器：：配备*个源瓶加热器，专门设计的源瓶体加热模块，加热精度*.*º*，源瓶全自动加热最高*** º* *.装载：抽屉式样品装载，最大*寸*****；粉末样品容器（例如**钴酸锂） *.阀组：包括多组世伟洛克毫秒级***阀门，可实现全方位无死角吹扫。 *.控制：*体式工控机**.*寸，带触摸功能，带***控制的触摸屏*** *.配备工艺菜单 ，可实现实时数据记录： 配备报警及软件安全控制 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| ********** | ****** | 最低价原则 | |||||
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