PECVD 系统（带滑轨）管式炉采购-比比招标网

申购单主题：	***** 系统（带滑轨）管式炉采购	申购单位：	深圳超滑技术研究所
申购备注：	中标商必须开具增值税专用发票

设备名称	品牌	型号	数量	报价类型	售后服务
***** 系统（带滑轨）管式炉采购	不指定品牌	不指定型号	*	国内含税价/人民币
规格	：▲ 电源：***/** · 功率：. · 加热区长度：* · 最高温度：度(≤*） · 工作温度：** 度 · 热电偶：* 型 · 智能化仪表，* 控制，段程序控温 · 炉体可滑动位移：*** · 炉管尺寸： φ******* ：▲射频电源·功率输出范围：-** ·功率稳定度：≤± ·射频频率：.* ·自动匹配 ·噪音：≤ ·冷却方式：风冷 ·标配套不锈钢真空法兰 ·进气端法兰上安装了个机械压力表用于观察炉管内的压力，压力表范围-.-.***；个φ.的卡套接头作为进气口使用，并通过个不锈钢针阀控制进气的通断；·出气端法兰包含个φ*宝塔气嘴的出气口，并通过个不锈钢针阀控制出气的通断。个**接口为抽真空接口，用于连接真空系统。个***的接口用于连接电阻真空计。 ▲真空系统• *-**, 单相, /***，压力恒定控制系统 • 配置恒定控制系统，其范围(进气气氛为氩气)： ******（ ***）-----***（ *****）（按照进气量为 ***）； ****（）-----***（***）（按照进气量为 ***） ****（）-----***（***）（按照进气量为 ***） ****（）-----***（***）（按照进气量为 ***** 、压力恒定控制精度：******-----.***（±%）＞.**-----**（±%）＞ ------****（±%）、路供气系统，量程为甲烷氢气 * 氩气 **，备用的用氮气调氮气标定精度：±.%；线性：±(.～.)%.. 重复精度：±.%.* 、尾气过滤系统，干湿处理，气管不少米质保期年质保期，终身维护，售后服务：有专业安装培训工程师，中标后天内供货，小时内上门安装培训；质保期年；供货商出具厂家盖章售后承诺函；配置：高温炉台；测温偶根；炉管根；高温手套副；管堵个内角扳手 *. 各把法兰Φ* 套，硅胶密封圈内径Φ,个；炉管护套副；法兰Φ*套，质子系统台；恒压控制系统台；说明书本。
中标供应商			单价		初选理由
广州市安恒科学仪器有限公司			******		最低价原则