单室四源电阻式镀膜设备（JJ2025000457）延期公告
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单室四源电阻式镀膜设备（JJ2025000457）延期公告
更新时间
2025-04-14
关键词
辽宁省
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单室*源电阻式镀膜设备（************）延期公告
发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：*
次
延期信息
| 延期理由： | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至****-**-** **:** | ||
|---|---|---|---|
| 项目名称 | 单室*源电阻式镀膜设备 | 项目编号 | ************ |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公示截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 南开大学 | 付款方式 | 合同签定生效后，预付合同总额的 **%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，*个工作日内支付合同总额的 **%余款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 合同签定生效后*个工作日内 | |
| 预算 | 未公布 | ||
| 收货地址 | 南开大学*里台校区化学楼南楼*** | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件
|
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| 公告说明 | 由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至****-**-** **:** | ||
采购清单*
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 单室*源电阻式镀膜设备 | * | 台 |
| 品牌 | 沈阳科诚 | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | ***** | ||
| 技术参数 | 该设备主要由真空室腔体，蒸发源系统，样品台系统，真空泵机组，设备机架和电控系统组成，设备前门可与手套箱对接。 *、真空室腔体：*套 *)外形：优质***不锈钢方形前后开门真空室腔体*套，内部尺寸长*****************，后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉式方门，前门配*****视窗两套；后门配*****视窗两套， *)底部：金属源接口*套，有机蒸发源接口*套.以及*****水冷膜厚探头接口*套,烘烤照明两套 *)顶部：水冷样品台接口*套，气动挡板接口*套，***-****-**高真空气动挡板阀接口*套,****热电偶法兰*个 *)右侧壁：水冷脂润滑****-****分子泵接口*套，***-*****接口*套，****预抽法兰接口*个 *)左侧壁；****高真空电阻规接口及****高真空电离规接口各*个，预留法兰若干 *)腔体漏率：整体漏率优于*×**-****.**/*，保压**小时，压强小于****。 *)内部装有衬板，方便清理 *、蒸发源系统：*套 *)金属源*套：水冷铜电极*组，兼容蒸发舟（钨、钼，钽舟）和螺旋丝，可蒸镀金属和氧化物等，采用气缸挡板，翻盖开关，***直流电源*台，可切换，数字显示，蒸发电源可以通过软件控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过****膜厚仪***（闭环控制），可单通道自动调节蒸发速率； *)有机蒸发源*套；采用铠装加热丝，安全洁净，最高加热温度：***℃，配***石英玻璃舟，采用气缸挡板，翻盖开关，采用直流电源*台，通过日本导电温控表进行***精确温度控制，温控精度±*℃，温控表显示精度*.*℃； *)隔板：蒸发源采用隔板分隔，避免交叉污染，部分隔板可免工具拆卸。 *、样品台系统：*套 *)基片旋转：采用磁流体密封，保证密封可靠性，转速*～**转／分，通过触摸屏控制连续可调； *)基片升降：；金属源衬底与蒸发源间距*****-*****，有机源*****-*****衬底与蒸发源间距通过触摸屏控制连续可调； *)基片挂架：承载*********插入式样品托架， *)基片挡板：采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制，旋转开关， *)样品水冷：采用小型制冷水机制冷，冷却水温度**℃～**℃，工作环境温度：**℃～**℃； *)样品测温；采用热电偶连接显示器显示温度 *)***********样品镀膜均匀度±*% *、真空泵机组：*套 *)***-**双级泵*台； *)***-****-**真空电磁充气阀*台； *)****泵阀连接软管*套； *)***-****-**高真空气动挡板阀*台； *)****-*****水冷脂润滑分子泵*台； *)***-*****气动超高真空插板阀*台； *)***-****-**超高真空气动挡板阀*台； *)***-****-**高真空气动挡板阀*台； *)***-****数显真空计*台（测量范围：*×***～*×**-***）。 *、设备机架：*套 *)**碳钢方管焊接机架*套，表面喷塑； *)*英寸万向轮*件，移动调整； *)***地脚*件，锁紧定位。 *、其他电控系统：*套（电气控制采用设备机架内置） *)烘烤照明电源：*台；(集成电气) *)总控制电源*台，配**英寸触摸屏，***控制器，样品台及挡板控制器，蒸发源挡板控制器，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等。 *、其他技术参数： *)缺相保护、误操作保护，联动互锁以及*键真空启停等功能； *)供电：～****单相供电系统（峰值***）； *)供水：小型循环制冷水机，冷却水温度**℃～**℃，工作环境温度：**℃～**℃； *)供气：小型无油静音气泵，提供*.*-*.****气压，驱动气动阀门； *)极限真空：优于*×**-***，大气至*×**-***时间小于**分，充干燥氮气。 | ||
| 生产厂家 | 沈阳科诚真空技术有限公司 | ||
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 | ||
南开大学
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