*、采购人：松山湖材料实验室

*、采购项目编号：******-******-**********-****

*、采购项目名称：原子层沉积镀膜设备

*、采购项目预算金额（元）：*,***,***.**元

*、拟采购的货物或者服务的说明

*、原子层沉积系统***设备的技术要求 *. ★反应腔工艺生长厚度区间：满足*-****均可实现； *. ★反应源（*甲基铝***）消耗量：生产厚度***条件下，消耗量≤**/千片； *. ★反应腔沉积膜厚均匀性：批次间均匀性≤+/-*%，批次内均匀性≤+/-*%，单片硅片内均匀性≤+/-*% *. ★生产能力（***膜厚工艺条件）：≥***片/小时； *. ★反应腔破片率≤*.**%； *. ★反应腔镀膜绕镀≤*.***； *. 生长台适用的样品尺寸：***.********.****单晶/多晶硅片 *. 反应腔材料：不锈钢； *. 反应腔是双层水冷构造 **. 反应腔工作压力范围：*-******可调 **. 反应腔体真空度：无流气抽真空*.*小时底压&**; *.***** **. 危险化学品供气管道漏率：&**; *.* * **- * ****.*/***. **. 设备安全：设备自身具备必要的电气安全保护、防机械运动损坏、防真空损坏、防高温损坏、危化学品安全侦测及互锁机制等自我保护安全互锁机制； **. 反应气流量控制精度：偏差&**;*% **. 反应源温度控制精度：偏差&**;+/-*℃ **. 反应腔具有不少于*个温度侦测通道 **. 反应腔温度控制精度：室温至***℃，稳态时温度设定值与反馈值偏差&**;+/-*℃ **. 预热腔体配备红外测温计，测温范围：**-*** ℃ **. 可通过电脑自动控制设备，完成*个独立的工艺实验 **. 能够实时监控水流量、真空腔、及传感器的工作状态 **. 供电电压:*相*** * ± **% **. 验收条件*：反应腔工艺生长厚度区间：满足*-****均可实现； **. 验收条件*：反应源（*甲基铝***）消耗量：生产厚度***条件下，消耗量≤**/千片； **. 验收条件*：反应腔沉积膜厚均匀性：批次间均匀性≤+/-*%，批次内均匀性≤+/-*%，单片硅片内均匀性≤+/-*%； **. 验收条件*：反应腔镀膜绕镀≤*.***； **. 验收条件*：生产能力（***膜厚工艺条件）：≥***片/小时（不包含手动上下料时间）； **. ★***气源由独立气源柜供应。*、商务要求 *. ★完工期：合同签订后**天内交货安装调试完成。 *. ★付款方式： *）合同签订及递交设备清单后**个工作日内预付**%货款； *）经采购人确认，设备到货后付**%货款； *）中标人交货并经采购人验收合格，办理完验收手续后**个工作日内*次性向中标人支付中标价的**%验收款，**%质保款于质保期满后*个工作日内支付。 *. ★质保要求：整机保修**个月。 *. ★售后服务：随本项目设备赠送*万元额度备件供采购人选购，能够提供国内售后服务，两个工作日内响应，*个工作日提出解决方案，如果采购人需要，可派遣技术支持工程师到现场指导、配合工作。

*、采用单*来源采购方式的原因及相关说明：

*、松山湖材料实验室原子层沉积镀膜设备于****年**月**日与****年*月**日在公开媒体上进行公开招标，因两次公开招标到项目投标截止时间止只有理想晶延半导体设备（上海）有限公司参与投标，由于实质性响应招标文件的投标人不足*家，根据《中华人民共和国政府采购法》第***条规定,实质性响应招标文件要求的供应商不足*家,两次公开招标失败。*、由于本项目时间紧任务紧迫，只有理想晶延半导体设备（上海）有限公司响应原子层沉积镀膜设备的招标文件内容。基于以上考虑，根据《政府采购法》第***条符合下列情形之*的货物或者服务，可以依照本法采用单*来源方式采购：（*）只能从唯*供应商处采购的。本项目拟采用单*来源采购方式，现根据相关法律法规的要求，进行单*来源采购征求意见公示。

*、拟定的唯*供应商名称、地址：

*、专家论证意见：

（*）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯*性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：

专家*：方清华，工作单位：广东鸿翔工程检测咨询公司，职称：高工；专家*：付艳平，工作单位：东莞市友安机电安装有限公司，职称：高工；专家*：陈云鹏，工作单位：东莞市市政园林管理中心，职称：高工。论证委员会*致认为理想晶延半导体设备（上海）有限公司作为原子层沉积镀膜设备的唯*供应商。

（*）专家小组综合意见：

论证委员会*致认为理想晶延半导体设备（上海）有限公司作为原子层沉积镀膜设备的唯*供应商。

*、本公示期限（不得少于*个工作日）自**** 年 ** 月 ** 日 至 **** 年 ** 月 ** 日 止。

*、联系事项

发布人：东莞市粤隆招标有限公司[联系方式]

发布时间：****年**月**日