高真空电子束蒸镀系统、钙钛矿分析显微镜、手套箱采购项目变更公告-比比招标网

广东采联采购科技有限公司[联系方式]于****年*月*日在中国政府采购网（***.****.***.**）、深圳政府采购网（****://****.**.***.**/）、采购代理机构网站（***.********.**）上发布的高真空电子束蒸镀系统、钙钛矿分析显微镜、手套箱采购项目（项目编号：***************）公开招标公告，因招标文件中的采购需求变化原因，现将招标文件部分内容作如下变更：

*、变更内容

（*）原招标文件第*章用户需求书第*项技术参数（*）镀膜机第*、*、*、*、**点：

“*、▲前级干泵加低温泵真空系统。低温泵对水汽抽速不小于****升/秒，**分钟以内抽进**-***，极限真空度优于* × **-* ****。系统总漏率不大于****-*****.*/*，系统在原厂组装并经过氦质谱检漏。常规的真空规系统：*个测量低真空的规，*个测量高真空的规，以及配套的线和表头。

*、样品托盘*寸硅片向下兼容，提供两套装载盘；坩埚容量：分子** **，坩埚数量为*，可自动旋转坩埚，需提供备用坩埚至少*套*个。衬底前有气动控制的样品挡板。

*、▲电子枪功率大于等于****。电子枪有气动的挡板。

*、样品可公转，转速可调节，样品最高转速大于等于*****；可提供样品背部加热，最高温度大于等于***度，温度均匀性&**;*%。

**、以铝或者钛为测试材料时，镀膜**，采用圆周与中心*点测量法，直径*英寸样品金属膜的厚度均匀性低于*%。提供膜厚测试报告，并在厂验时安排测试。”

变更为：

*、样品托盘*吋以下兼容，提供两套装载盘；坩埚容量：分子** **，坩埚数量为*，可自动旋转坩埚，需提供备用坩埚至少*套*个。衬底前有气动控制的样品挡板。

*、▲电子枪功率大于等于***。电子枪有气动的挡板。

*、样品不旋转；可提供样品背部液态氮冷却。

**、以铝或者钛为测试材料时，镀膜**，采用圆周与中心*点测量法。提供膜厚测试报告，并在厂验时安排测试。”

（*）原招标文件第*章用户需求书第*项技术参数（*）镀膜机第**点“**、机器必须含有离子辅助系统。离子源阳极功率大于等于****，控制功率大于等于*****。”与第**点“**、工件盘可加热，数显温控仪控温，最高温度***℃。”整条删除。

（*）原招标文件第*章用户需求书第*项商务要求（*）免费保修期内售后服务要求：

“*、免费保修期货物免费保修期*年，时间自验收合格并交付使用之日起计算。在质保期内，免费维修与更换所有*配件。中标人需每年定期免费提供软件升级及硬件维护等服务。”

变更为：

招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改。如原招标文件与本文有不符之处，以本文为准。招标文件未变更部分，仍按原招标文件执行。

特此公告。

*、投标（响应）截止时间:****年*月**日* 时**分

*、联系事项

（*）采购代理机构：广东采联采购科技有限公司[联系方式]

地址：深圳市福田区竹子林中国经贸大厦***、*广东采联采购科技有限公司[联系方式]深圳分公司

联系人：陈小姐

联系电话：****-********-****

邮编：******

邮箱：*********@***.***

（*）采购人：哈尔滨工业大学[联系方式]（深圳）

地址：深圳市南山区西丽深圳大学城哈工大校区 * 栋 ***

联系人：肖老师

联系电话：****-********

邮编：******

特此公告。

发布人：广东采联采购科技有限公司[联系方式]

发布时间：****年*月**日