生物岛实验室 - 竞价公告 (CBGRMHGDL2020000507)
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招标公告
生物岛实验室 - 竞价公告 (CBGRMHGDL2020000507)
更新时间
2020-08-25
关键词
广东省
基本信息：
申购明细：
序号
*
采购内容
磁控溅射镀膜机
数量
*
预算单价
品牌
*
型号
*
规格参数
关键技术参数需求
*. 腔体尺寸：直径******高*****
*. 极限真空度：≤*.****-***
*. 系统漏率：****-***.*/*
*. 静态升压：系统停泵关机***后，真空度≤***
*. 抽真空时间：抽至****-***，时间≤*****
*. ▲磁控靶配置：带角度调节直径****磁控靶*支
*. 清洗：支持偏压清洗
*. 辅助沉积：支持辅助沉积
*. 样品数量：*寸样片*片或小样品数片
**. 溅射不均匀性：≤±*%（直径*寸范围内），≤±*%（直径*寸范围内）
**. 样品加热：最高***℃，温度均匀性±*%（灯光辐照，样品镂空）
**. 腔体侧壁烘烤加热：有
**. 工艺气体：**，**
**. ▲电源：射频源：****，**，自动匹配
直流源：*****
**. 压力控制：自动
**. 载片(******)：直径小于*****的各种基片(** ** *** ** ******)
**. 气体(*** *****)：**、**、**
**. 靶源(********* ********** *******)：*个*吋标准磁控靶，功率**** (**** * - **** ******** ********，***** ****)
**. 样品台转速及温度范围(******** ***** ** *** *********** ***** ** *** ****** *****)：最高转速** ***，室温至*** ℃ (** ** ** ***, *** **** *********** ** ** *** ℃)
**. 薄膜不均匀度(*************)：＜ *%
*、特殊配件或耗材需求
▲*.水冷工件盘*个（可与加热工件盘互换）。
▲*.阳极层离子源*支。
▲*.进口全量程真空规*套。
▲*.循环水机*台。
带▲的参数为重要技术参数，请优先配置，如果不能配置，请说明原因。
质保及售后服务
按行业标准提供服务
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