▲搬运物尺寸≦*****;▲吸附方式:真空吸附;电机类型:步进电机(闭环控制);可动范围:被搬运物中心到达距离:***.***,旋转角度(θ轴):***度,升降(*轴):*****;搬运速度(平均):手臂(*轴):*****/*,旋转角度(θ轴):***度/*,升降(*轴):*****/*;搬运速度(最大):手臂(*轴):******/*,旋转角度(θ轴):***度/*,升降(*轴):*****/*;精度:手臂(*轴):**.*μ*以下,旋转角度(θ轴):*.****度,升降(*轴):*.*μ*;▲重复性精度:±*.***以内;▲洁净度:***标准 ***** *;厂务:电源:*****±**% *** 真空:-*****以上。