双靶磁控溅射镀膜设备（清设比选20220567号）采购公告
分站
招标公告
双靶磁控溅射镀膜设备（清设比选20220567号）采购公告
更新时间
2022-04-20
关键词
北京市
镀膜设备,观察窗
双靶磁控溅射镀膜设备（清设比选********号）采购公告
发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：** 次
| 采购项目名称 | 双靶磁控溅射镀膜设备 | 采购项目编号 | 清设比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ****-**-** **:**:** | 公告截止时间 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 清华大学[联系方式] | 付款方式 | 合同签订后付款**%,验收合格后*周付尾款**% |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 |
| 签约时间要求 | 成交后**个工作日 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日 |
| 最高限价 | 未公布 | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学[联系方式] | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 双靶磁控溅射镀膜设备 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ |
| 技术参数及配置要求 | 技术参数及配置要求：*. 真空腔室：要求采用***不锈钢材质，尺寸不小于Φ***×******，配至少*套防污镜面隔板；前门需设计可供观察窗口，观察窗玻璃尺寸不小于Φ****；*. 真空系统：主泵分子泵抽速不小于******/*，前级泵旋片泵抽速不小于****/*，主阀需采用超高真空可调闸板阀；*. 真空极限： 优于*.*×**-***；*. 抽速：抽至*.*×**-***≤*****；*. 基片台：实现平面小片镀膜基片台*套，最大可镀* 英寸（Φ*****）* 片或者均布其它规格小片；基片台旋转，转速*-***** 连续可调；实现粉体颗粒镀膜样品台*套；*. 溅射靶：不少于*只***** 圆形平面靶，可调整角度，可单靶轮流/双靶聚焦共溅射；*. 溅射电源：至少*台不小于***** 射频电源，频率**.*****，自动匹配；*. 膜厚控制系统：可通过薄膜沉积控制仪和时间设定两种方式控制膜厚，可与***-****匹配的水冷探头*路；*. 气路系统：不少于*路工艺气体*** 控制，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要；**. 水冷系统：水冷部件有分子泵、溅射靶及旋转密封磁流体等；**. 控制方式：采用***+触摸屏控制，可设置需要溅镀的总层数，设置材料，设置各层镀膜厚度，设置每层膜之间的间隔时间；设置参数保存后实现程序自动镀膜，镀膜结束. |
| 质保期 | **个月 |
清华大学[联系方式]
****-**-** **:**:**
附件下载：
分享
热门推荐
项目推荐
客服电话 400-000-0388
