原子层沉积系统（JJ220298）采购公告
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原子层沉积系统（JJ220298）采购公告
更新时间
2022-06-30
关键词
内蒙古自治区
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原子层沉积系统（********）采购公告
发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：** 次
| 项目名称 | 原子层沉积系统 | 项目编号 | ******** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 内蒙古大学 | 付款方式 | 货到验收合格后付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后**个工作日内 | 到货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
| 预算总价 | ￥ ******.** + *** + *** | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 内蒙古呼和浩特市玉泉区内蒙古大学南校区 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | * | 台 | 其他仪器 无 无 |
| 品牌 品牌* | 元于科技 |
|---|---|
| 型号 | **-****** |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ ******.** |
| 技术参数及配置要求 | *．反应腔***或*** 不锈钢。可以生长最大* 英寸样品的腔体。基底加热温度**-***℃可控，控制精度±*℃。惰性气体保护的双*-****高温密封系统，隔绝其他气体渗漏。腔体烘烤温度**-***℃可控，控制精度±*℃。反应腔内具有可拆卸更换内衬以方便维护。*．沉积模式包括至少以下*种工作模式：高速沉积的连续模式，沉积超高宽深比结构的停流模式，等离子体增强模式。*．前驱体源输运系统共*路前驱体源，*路为常温源，可接水和臭氧/氨气/***等气体；*路为加热源，加热温度**-***℃可控，控制精度±*℃。加热源配备耐高温手动阀，以及前驱体源瓶体积****。*. 前驱体管路所有前驱体管路须全部采用进口****不锈钢**级管路，所有管路加热温度**-***℃可控。管路腔体清洗维护简便，设备须具有"自动清洗"的功能,要求用户在沉积前与沉积完成后运行""自动清洗"程序, 清洗管路, 保护***阀门。*. ***阀每*路前驱体配置*个原子层沉积专用高速高温***阀，***阀加热温度**-***℃可控。***阀门可快速拆换，需要维修时只需要在拆下阀门对应位置安装盲板，不影响设备正常使用。 *. 超快脉冲微波等离体源系统设备包括可快速更换的微波等离子体系统，可实现热式和等离子体增强模式的快速切换。系统包括****微波电源，*~****连续可调；同轴微波等离子体发生器；快速匹配器可以实现最低*****的等离子体脉冲，即*****内完成稳定启辉；配置*路等离子体气路，其中*路为氩气配置质量流量计*~******可调，另外两路为气体脉冲输入口可任意切换气体。*．载气系统**或者**，须配备质量流量计，流量控制*-*******或更高*．真空规爱德华宽范围真空规测量范围***-*****~***+*****。*．控制硬件采用***+**控制系统，保证设备长时间稳定运行；硬件控制系统须具备* 毫秒前驱体脉冲时间的精确分辨控制能力，每*前驱体脉冲时间所对应的压强值必须能重复在同*个水平上，保证进入反应腔的前驱体的量精确可控。**．控制软件*******下的专用全自动控制软件, 全自动控制加热、流量、等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控。全部沉积过程(从开始到结束，包括突发的停机)的参数实时全部记录，自动生成日志文件，都可以事后回放，每个脉冲曲线都可以显示回放**．真空机械泵系统采用*******惰性泵油的机械泵系统，抽速*.* */*。**. 验收指标***** 均匀性 ≤+/？*%在*-*英寸晶圆上沉积*****，取*个不同点（上、下、左、右、中心）进行测试，计算厚度标准偏差。测量方法：椭偏仪**．安装培训：厂家工程师现场进行安装与培训，包括操作，维护及安全使用等，确保人员熟练使用 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 技术支持:****小时售后服务:*年服务响应时限:报修后*小时质保期:*年供货周期:签订合同后**个工作日内培训要求:培训两次是否含税:含税*年免费保修，自验收之日起。提供完善的技术支持与售后服务，在接到用户报修通知后*小时内给予答复，**小时内能够到达现场提供服务。保修期外的维修只收成本费。 |
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