*.包含显微镜系统*套,电学测试台主机(*****)*台, ****射频探针座*个,原厂配套射频探针臂*个,原厂配套特殊陶瓷样品台*个,直流磁吸式针座*个,*轴直流针杆*个,***直流探针**根,****套和**.*寸高清显示器*个;
*.显微镜系统:包含****型号体式显微镜(*.*:*变焦比)*个;原厂配套**倍目镜两个,原厂配套***环形灯*组,原厂配套显微镜支架*组;
*.电学测试台主机的样品台必须是气浮式样品台,尺寸不小于*英寸,具备背电极***接头。
*. 电学测试台主机的探针座放置平台可调节位移不小于****,并有不少于*档的调节微调高度设计(*档中必须包含*,***μ*,和***)。
*.直流磁吸式探针座移动行程:*、*、**个方向均不低于****,移动精度优于*.*μ*; *轴直流针杆包含长度不低于*.**的信号线缆,电流精度优于***** *** **系列直流探针直径*.***,可测试电流范围涵盖*.***-**。
*. ***的分辨率不低于*********;预览帧率不次于*****,录像帧率不次于*****,至少具有****接口;
*.显示器分辨度不次于*****,至少具备***和****接口