天津大学 - 竞价公告 (CB100562023000303)-比比招标网

*. 冷泵泵组技术参数要求： (*) 干泵抽气速度不低于****/*,接口尺寸为** ** ***-**,噪音值须&**; ** **(*), 极限压力下的功耗：*** *。 (*) 冷泵对**抽气速度不低于**** */*,对水不低于*****/*，须具备*段式**冷冻机，法兰接口以** ****提供，冷却下降时间******，维护周期≥**,***小时，冷泵搭配的压缩机≥油吸附器更换周期：**,***小时。 *(*) 抽气系统管路需与设备自带的自动粗抽阀及自动前级阀做配接。 *(*) 冷泵需与腔体自带的手动控制金属密封闸板阀做配接。 *(*) 需与设备的控制系统做链接，透过设备控制系统操作及测试泵之真空能力。 *. 分子泵泵组*技术参数要求： (*) 干泵抽气速度不低于****/*,接口尺寸为** ** ***-**,噪音值须&**; ** **(*), 极限压力下的功耗：*** *。 (*) 分子泵对**抽气速度不低于*** */*，对**的压缩比不低于 ****^**，法兰接口以** ****提供。 *(*) 抽气系统管路需与设备自带的自动粗抽阀及自动前级阀做配接。 *(*) 分子泵需与腔体自带的自动控制金属密封闸板阀做配接。 *(*) 需与设备的控制系统做链接，透过设备控制系统操作及测试泵之真空能力。 *. 分子泵泵组*技术参数要求： (*)分子泵对**抽气速度不低于*** */*，对**的压缩比不低于 ****^**，法兰接口以*** ****提供。 *(*)抽气系统管路需与设备自带的自动粗抽阀及自动前级阀做配接。 *(*)分子泵需与腔体自带的自动控制闸板阀做配接。 *(*)需与设备的控制系统做链接，透过设备控制系统操作及测试泵之真空能力。

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