| 成立于****年**月,在学校“采购与招投标工作领导小组”领导下,负责学校政府集中采购与校内集中采购的组织、实施和管理工作,以及学校对外投标管理等工作。地址:深圳大学办公楼北座*楼电邮:******@***.***.**电话:[] | | | | | | | | | | | 站内搜索 |
| 当前位置:重要通知 【】 | 深圳大学低温等离子活化系统意向公开 | ****/*/** **:**:** | 采购单位: | 深圳大学 | 项目名称: | 低温等离子活化系统 | 预算金额(元): | *,***,***.*** | 采购品目: | 电子工业生产设备 | 采购需求概况: | 设备具有低温等离子活化的专利应用许可和工艺菜单 设备由低温等离子体活化模块、工艺气体系统、真空系统、配套卡具及相关配件等部分构成。 双频射频等离子体,即同时具备高频和低频等离子体源,提供两种活化频率,可交替使用,两种等离子输出功率可编程控制,输出功率可达****。 工艺腔室允许使用非原位工艺,即晶圆片可在腔室内分别片片激活,之后在激活腔室外进行键合。 兼容*****及以下晶圆腔室,腔室内部覆盖无金属离子涂层,减少离子污染。 配置*级真空系统,包括干泵和涡轮分子泵,真空度可达**-*****。 | 联系人: | 王老师 | 联系电话: | ****-******** | 预计采购时间: | ****-** | 备注: | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准 | | |
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