甬江实验室[联系方式]采购高密度等离体子刻蚀机等*批设备项目的单*来源采购公示

发布日期：****-**-**

*、项目信息

采购人：甬江实验室[联系方式]

项目名称：甬江实验室[联系方式]采购高密度等离体子刻蚀机等*批设备项目

拟采购的货物或服务的说明：

标的名称：高密度等离子体刻蚀机、金属刻蚀机、离子注入机、磁控溅射（***）

数    量：各*套

拟采购的货物或服务的预算总金额：**亿日元（****.*万元)

采用单*来源采购方式的原因及说明：甬江实验室[联系方式]因开展研究工作需要，采购高密度等离子体刻蚀机、金属刻蚀机、离子注入机、磁控溅射（***）各*套。目前仅有爱发科离子注入机配备可自动调整衬底温度的**/** ***** ***样品台，并可控制衬底上下两侧温差≦**℃，可防止**/** *****加工时破片现象，保证工艺稳定性。其次，也仅有其可兼容*英寸向下兼容的**/**/***/**多种材料的***** ***工艺，可自动上下片，兼容性较强。同时仅有爱发科高密度等离子体刻蚀机可以实现** **** ** **刻蚀角度≥**°，**衬底刻蚀可以实现刻蚀角度≥**°，并兼容**/****/****等材料高质量刻蚀。此外，爱发科也可提供磁控溅射（***）设备，仅有该设备可实现***低温（≦***℃）成膜的同时保证薄膜的高沉积速率（≥*.*μ*/*）、高性能及高可靠性（介电常数***.*≧***/**，击穿电压≥|-****|，经时介电层击穿（****）≧*×*** *），并搭配爱发科***刻蚀设备，形成全套的***压电器件加工解决方案，仅有该方案可实现针对***蚀刻工艺配置专用处理，且可兼容金属刻蚀（**、*、**、**、****/**、***、***）。同时，该设备配置静态磁体，清洁星形电极，提升刻蚀工艺稳定性。为了科研需要，能够采购到同时符合研究工作需求的*套设备，故需向*****，***.拟单*来源采购*套设备。

*、拟定供应商信息

名称：*****，***.

地址：日本神奈川县茅崎市荻园****

*、公示期限

****年**月**日至****年**月**日

*、其他补充事宜

*.本项目公告期限为*个工作日，供应商对该项目拟采用单*来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第*个工作日），以书面形式向采购人或代理机构提出异议。

*.无

*、联系方式

*.采购人信息

名  称：甬江实验室[联系方式]

地  址：宁波市镇海区慈海南路****号

联系人：孙老师

电话：****-********

*.代理机构：浙江中创招投标有限公司[联系方式]

名  称：浙江中创招投标有限公司[联系方式]

地  址：宁波市海曙区环城西路北段***号真如中心**楼

联系人：吴盛霞、滕家辉、李晶

传真：****-********

电子邮箱：********@***.***

专家论证意见详见链接：*****://****.***.**.***.**/*****/******?********=******&***;*********;=**********************==&***;***;=***-************-*****.********.*.*.********************************