北京量子信息科学研究院科研仪器设备氟化氢蒸汽刻蚀机系统单一来源采购公示-比比招标网

北京量子信息科学研究院本次拟采购的*套氟化氢蒸汽刻蚀机系统用于在量子芯片制备工艺中，需要去除器件中*氧化硅牺牲层来释放微结构，使器件处于悬空状态。要求系统以无水气相氟化氢为刻蚀气体，气态乙醇作为载气，刻蚀速率在** **/***至*** **/***范围内，刻蚀均匀性，片内均匀性波动≤ ±**%，片间重复性≤ ±**%，可兼容最大直径*** **圆片和小片。经全球调研，英国厂家****公司拥有自主知识产权（***********）的无水氟化氢气相刻蚀工艺，以无水乙醇为催化剂，真正做到无水刻蚀。*方面体现出对硅衬底，金属以及低应力氮化硅等都有非常好的选择性，因为在水汽作用下，金属等其他材料也会被氢氟酸所腐蚀；另*方面在没有水汽的环境中，刻蚀释放的器件不会出现由于液态张力而与衬底表面的粘附性失效。综上所述，英国****是市场上唯*能生产出以实现氟化氢干法、无水释放*氧化硅牺牲层的刻蚀机厂家。北京波思特电子科技有限公司是厂家授权在大*唯*代理供货商，因此申请单*来源方式采购所需的氟化氢蒸汽刻蚀机系统。

*、拟定供应商信息

名称：北京波思特电子科技有限公司

地址：北京市丰台区科学城星火路**号*幢*层***室

*、公示期限

****年**月**日至 ****年**月**日

*、其他补充事宜：

专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称等信息详见。由于系统原因，其他未尽事宜及公告显示内容与不同的，以为准。本公示在中国政府采购网发布。

*、联系方式

*.采购人

联系人：北京量子信息科学研究院　　　　　

地址：北京市海淀区西北旺东路**号院西区*号楼　　　　　　　　

联系方式：***-******** 转 ****　　　　　　

*.财政部门

联系人：北京市财政局采购处

联系地址：北京市通州区承安路*号

联系电话：***-********

*.采购代理机构信息

名称：华诚博远工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：北京市西城区宣武门外大街**号庄胜广场中央办公楼北翼**层　　　　　　　　　　　　

联系方式：于曼，***********　　　　　　　　　　　　