序号 | 采购内容 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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* | 离子溅射仪 | */套 | 速普 | *** |
*.真空泵组:旋片泵;
*.泵组抽速:&***;*** **/*;
*.极限真空:&***;*** **;
*.*工作气压:*-****;
*.抽真空时间:&***;******;
*.真空规:进口品牌皮拉尼真空计;
*.样品腔室尺寸:Ф *** ×*** ** 全铝金属腔体;
*.*磁控溅射源:双靶位溅射运行,靶材尺寸 Ф ** ×*.* **
*.*溅射电源:恒功率磁控 ** 溅射电源** ***. *** ,***. *** **;
**.溅射时间:可程序设定;
**.*操作方式:触摸屏控制;
**.功耗:&***;***** *;
**.*自动旋转偏转样品台,转速*~*****/分,倾转角度*~**度
**功能可实现双靶单独溅射,共溅射和叠层溅射
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仪器设备质保期为验收合格后*年,提供优质保期内免费技术服务、设备操作培训、现场技术支持服务、定期巡检服务及咨询服务,接到采购人通知,*小时内到指定地点提供现场免费服务。
质保期满后,若发生重大故障,收到采购人通知后,应在*小时内派维修人员上门修理并优惠收费。
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