高真空金属蒸发镀膜机（清采比选20240036号）采购公告
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招标公告
高真空金属蒸发镀膜机（清采比选20240036号）采购公告
更新时间
2024-04-18
关键词
北京市
蒸发,高真空
高真空金属蒸发镀膜机（清采比选********号）采购公告
发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：** 次
| 采购项目名称 | 高真空金属蒸发镀膜机 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ****-**-** **:**:** | 公告截止时间 | ****-**-** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学[联系方式] | ||
| 最高限价 | ￥ ***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 货到付款***% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学[联系方式] | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 高真空金属蒸发镀膜机 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | 普迪真空 |
|---|---|
| 型号 | **-**** |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ ***,***.** |
| 技术参数及配置要求 | *、真空腔室 真空专用***不锈钢腔室，***×***×*****；前开门结构。配内衬防污板，可旋转水冷；*、镀膜要求 *镀膜蒸发速率：**:**~**Å/*，** :*~**Å/*，**:*~**Å/*； **:*~**Å/*；**:*~**Å/*；**:*~*Å/*；**:*~*Å/*；根据实际工艺可自动调整。*镀膜速率控制要求：自动控制最小*.**，手动控制*.***（提供图片佐证）*镀膜方式：实现全自动镀膜。*可镀膜材料：**/**/**/**/**/**/**/**/**/**/**/**/**等，以及不常用低熔点金属等，氟化镁，氧化锰，***，***,****等等低熔点化合物小分子材料等。 *镀膜厚度均匀性：*英寸工件/*英寸工件，保证片内均匀性优于+/-*%，片间均匀性优于+/-*%； *镀膜厚度重复性：优于+/-*%； *附着力：符合***及国标军标要求。*、膜厚仪 进口 *******品牌，型号: ***-***，配备 * 只水冷探头；显示控制精度*.** 埃；*、真空系统 不小于*****/*泵组高真空抽气系统；*、基片台尺寸 最大可镀基片尺寸/面积：Φ*****范围内可装卡各种规格配套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。基片台旋转：*-**转/分钟，可调可控。基片台可水冷。*、蒸发源及电源 热蒸发系统配*组蒸发源（可使用丝状源与舟状源）；配备水冷蒸发电极,不小于*.****金属蒸发电源。*、控制方式 西门子***+西门子触摸屏全自动控制；所有阀门采用电动控制。*、报警及保护 对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。*、设备配电 电压：******/**** 功率：*.****、设备震动 *设备震动*级，符合***标准，噪音指数**分贝以下**、设备尺寸 占地面积小节约实验室实验空间。*.主机 外形尺寸：****×****×******** 仪器重量：******.泵: 外形尺寸：****×****×******* 仪器重量：*****.水冷机 外形尺寸：****×****×******* 仪器重量：******、腔体洁净度要求 *需提供高真空状态腔体气体分析报告。 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学[联系方式]
****-**-** **:**:**
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