暨南大学 - 竞价公告 (CB105592024001057)-比比招标网

**-***-* 设备参数：抽速(*/*) *.* 极限分压强-无气镇(**) ****^-* 极限总压强-无气镇(**) ****^-* 极限总压强-有气镇(**) * 电源单/*相电机功率（**） *.* 进排气连接口**(**) **** 用油量(*) *.*-* 电机转速(***) **** 工作环境温度 *-**℃ 噪音(**) ≤** 重量(**) ** 磁控溅射靶枪靶头形式：圆形平面靶工作真空度： **** — *.*** 靶材直径： **/**.***±*.*** 靶材厚度： *~***（普通型）、*.***（铁磁型）靶材利用率： &***;****%(铜靶材) 最大输入功率： &***;******(铜靶材) 最大绝缘电压： &***;******* 水冷管直径： *** 冷却水压力：＞*.**** 极限水压：＜*.**** 靶头外形尺寸： Ø** * **ｍｍ靶管尺寸： Ø**±*.*ｍｍ * ***ｍｍ输入同轴连接器： **-** 靶头温度：＜**℃

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