序号 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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* | 等离子清洗机 | */台 | 不限 | 不限 |
(*)等离子源频率**.***** 射频,功率*-****可调; (*)腔体材质为石英,容积不小于**; (*)最少*路处理气体气路,且气体流量可调; (*)含真空泵,工作真空度不高于** **; (*)控制系统***自动控制,具有紧急停止按钮等;(*)*寸触摸屏,可图形化曲线图自动监测工艺参数状态及存储工艺数据;(*)具有门感应器和真空互锁功能。
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至少*年免费维保和备件免费更换,且在设备出现故障后可提供远程技术支持。
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