东南大学 - 竞价公告 (CB102862024000517)
招标公告 东南大学 - 竞价公告 (CB102862024000517)
更新时间 2024-04-29
关键词
江苏省  
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薄膜沉积系统
*/台
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*、 镀膜室内净尺寸: ****×****×****;方箱式,前门旋转往右打开式,***优质不锈钢制造; *、 真空系统:采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统;机械泵抽速:不小于**/*;分子泵抽速:不下小于:*****/*; *、 真空极限:*.*×**-***(空载,经烘烤除气后); *、 圆形基片台结构,可承载最大***×***** 基片;;基片旋转:*~**转/分钟;加热:室温~***±*℃,可控可调,日本岛电***智能温控闭环控温; *、 磁控溅射靶源:*只*英寸圆形平面靶; *、 基片台配有偏压清洗功能,并配有直流脉冲偏压电源; *、 *台磁控溅射电源; *、 配有质量流量控制器*路,供**、**、**气体使用; *、 配备有循环水冷机和空气压缩机; **、 ***+触摸屏人机界面半自动控制系统; **、 报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。 **、设备配备有独立机架及电控柜;
按行业标准提供服务
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