紫外光刻机（清采比选20240118号）采购公告
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招标公告
紫外光刻机（清采比选20240118号）采购公告
更新时间
2024-05-07
关键词
北京市
机
紫外光刻机（清采比选********号）采购公告
发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：** 次
| 采购项目名称 | 紫外光刻机 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ****-**-** **:**:** | 公告截止时间 | ****-**-** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后**个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后***个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学[联系方式] | ||
| 最高限价 | ￥ ***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，验收合格后**% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学[联系方式]刘卿楼 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 紫外光刻机 | * | 台 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ ***,***.** |
| 技术参数及配置要求 | *.曝光样品尺寸：*英寸，单面对准；*.曝光光强：≥****/**²；*. 分辨率：*μ*（胶厚*μ*的胶）；*. 对准精度：正面对准精度可以达到±*μ* *. 掩模尺寸：*寸；*.掩模样片整体运动范围：*:***；*:****.掩模相对于样片运动行程：*:±***；*:±***；θ:±*度 *.照明均匀性：≥**%（Ф*****范围）*. 样品厚度：*.***-*.***(其他尺寸可定制)；**. 曝光波长：*****（** ***光源）**. 曝光方式：接触式曝光，定时（计时方式*.**—****.**）配套系统和设备：*.主机（机架、光学平台）光学平台：台面材料：不锈钢，抛光处理；台面平面度：*.**~*.***/*²；台面粗糙度：*.*~*.*μ*；调平方式：机械进行调平；平台配套脚轮；*.光源光源类型：** ***；中心波长：***±***；强度：≥****/**²；光照均匀性：≥**%；能量稳定性：≥**%；光强均匀性：&***;***%*.驱动装置(主轴、镜头、驱动手柄）主轴：*轴、*轴、*轴、θ轴镜头：*轴、*轴、*轴驱动手柄：*轴控制*.控制系统(***控制器、数字量模块、工控机、显示器）*.视觉系统(****网口相机、工业镜头：放大倍率*倍、分辨率*.*微米、黄色点光源）*.真空系统(真空吸盘：对应样品尺寸、****固定板、数字式真空表、配干式真空泵）*.设备安装及人员培训*.至少*年质保期。 |
| 质保期 | **个月 |
清华大学[联系方式]
****-**-** **:**:**
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