化合物半导体微纳结构工艺加工（清采比选20240170号）采购公告
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招标公告
化合物半导体微纳结构工艺加工（清采比选20240170号）采购公告
更新时间
2024-05-11
关键词
北京市
化合物半导体
化合物半导体微纳结构工艺加工（清采比选********号）采购公告
发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：** 次
| 采购项目名称 | 化合物半导体微纳结构工艺加工 | 采购项目编号 | 清采比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | ****-**-** **:**:** | 公告截止时间 | ****-**-** **:**:** |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后**个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学[联系方式] | ||
| 最高限价 | ￥ ***,***.** 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后**%，到货后**%，验收合格后**% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学[联系方式] | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单*
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 化合物半导体微纳结构工艺加工 | * | 件 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ ***,***.** |
| 技术参数及配置要求 | *、在直径*英寸外延片整片上进行周期性微纳结构加工，单个微纳结构阵列规模***×***，周期** μ*。每个周期结构中包含*×*个微结构，微结构周期*.* μ*，边长*.** μ*，深度*** **。在每个阵列上进行台面刻蚀，台面边长** μ*，刻蚀深度*.**~*.* μ**、具备光刻板设计和加工能力，根据用户需求进行板图设计与加工*、半导体材料刻蚀深度偏差小于** **，均匀性小于*%*、阵列方块边长控制精度±*.** μ**、制备厚度*** ** ****钝化膜，折射率在*.**~*.***之间，厚度均匀性小于*%*、欧姆金属**** /**/** ( ***/**/*** **)，*次性成膜，厚度均匀性小于*%*、反射层金属溅射 **/** (** **/*** **)，*次性成膜，厚度均匀性小于*%*、外圈环状电极&***;**** μ* （***~*** μ*）,外圈电极需保证边缘完整无缺陷，与周期性微纳结构电极共平面，且需与下接触层欧姆金属实现互联*、单个微结构阵列器件整体区域比橙色区域两边各多出***~*** μ* |
| 质保期 | **个月 |
清华大学[联系方式]
****-**-** **:**:**
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